08/29のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @BronkhorstJP: ブロンコストの蒸気搬送モジュールVDMの動作機構をご紹介する動画が公開されました。精密蒸気供給システムCEMの機構もご覧頂けます。https://t.co/ZzbCxval2f
08-29 22:54

【供給終了のお知らせ】ブロンコスト IN-FLOW CTA シリーズ

ブロンコスト・ジャパン(株)から供給終了のお知らせが出ています。

「ガス用マスフローメータ・コントローラIN-FLOW CTAは、2018年夏を目途に供給終了予定です。
修理は10年程度続ける予定です。
代替品はMASS-STREAMですが、更新・増設をご検討の方はお急ぎ下さい。」


勘違いしてはいけないのは、供給停止になるのはIN-FLOW CTA (写真下)のみです。
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一般産業用に好評をいただいている、IN-FLOWシリーズ(写真下)自体は、これからも主力機種として生産が続けられますので、お間違いないよう・・・・
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両者には大きな差があって、それはマスフローの命である流量センサーの構造です。
CTAは全量測定のインサーションタイプ熱式センサーです。
それ以外の一般的なIN-FLOWは分流測定の巻線型熱式センサーです。

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今回、供給終了になるのは、このインサーションタイプのIN-FLOWのみなんですね。

ところでDecoさん一押しの同じセンサー方式のマスフローがありましたね?
そう、MASS-STREAM シリーズです。
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実は昨年、MASS-STREAMのブランドが M+W Instrument から Bronkhorst にリブランドされたので、Bronkhorst ブランドに、同じ方式のマスフロー、MASS-STREAM と IN-FLOW CTA が存在する意味もなくなったための処置と思われます。
両者の関係は、クルマで言うならスバルのBRZと、トヨタの86みたいなものだったんですね?

つまり実質、ラインナップは何も変わらないという事です。
ただ、完全に外形寸法が一致しているわけではない(MASS-STREAMの方が背が低いので問題は無いかと思いますが・・)ですし、変更管理を厳しく行われている業界や、そうでなくてもCTAを装置の補修パーツで登録されてる場合もあるかと思いますので、お客様へは1年前に告知という形を取らせてもらったのだと思います。

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08/28のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @kanaya: 感動した→“あるソフトウェア工学者の失敗 日本の IT は何故弱いか(林晋 京都大学文学研究科)” by @zerobase https://t.co/HlK2sCR587
08-28 20:01

RT @BronkhorstJP: 「展示会カレンダー」を更新しました。第120回触媒討論会(2017年9月12日-14日)https://t.co/t6o6WeglfA
08-28 19:57

RT @BronkhorstJP: 「展示会カレンダー」を更新しました。第55回燃焼シンポジウム(2017年11月13日-15日)https://t.co/t6o6WeglfA
08-28 19:57

RT @BronkhorstJP: 「展示会カレンダー」を更新しました。第58回大気環境学会年会(2017年9月6日-8日)https://t.co/t6o6WeglfA
08-28 19:57

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : アセチレン向けMFM/MFCのシール材質 https://t.co/W8uFMdilBb https://t.co/BoIdtaOWJq
08-28 06:53

アセチレンは燃焼ガスとしてよく使われます。非常に爆発事故が多い危険なガスです。ボンベ内のケイ酸カルシウムにアセトンを吸着させて、そこへアセチレンを溶解することで、保管輸送されます。従ってアセチレンを使い切らない限り、アセトンはマス… https://t.co/SvrGC3a3R5
08-28 06:53

08/27のツイートまとめ

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RT @BronkhorstJP: ガス用マスフローメータ・コントローラIN-FLOW CTAは2018年夏を目途に供給終了予定です。修理は10年程度続ける予定です。代替品はMASS-STREAMですが、更新・増設をご検討の方はお急ぎ下さい。https://t.co/Tm39
08-27 05:54

測定と計測は違う意味です

皆さん、よく流量を測る際に使われる”測定””計測”は異なる意味である事をご存知でしたか?
これは案外マスフロー業界の人でも使い分けができていなかったりします。

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つまり機器に添付された校正証明書で、基準として用いる量=国家で定めた標準との不確かさが謳えるものだけが
測定(Measurement) という言葉を使えるのです。
狭義では流量計と名乗れるのは、この測定目的のものだけです。

校正証明書の付かないものは、いくらカタログで高精度を謳っても、工業用の計測を行うセンサーであり、そこに指示された流量は、いかなる公的な基準ともトレーサブルであるという証明はありません。
メーカーとしての流量基準はあるのでしょうが、そこからのトレーサビリティは一切保証されていません。

当然、測定を行う機器のメーカーは、国家標準との間のトレーサビリティを維持するために、設備投資とメンテナンス、雇用と教育を必要とされます。
こういった流量計やマスフローコントローラーが高くて納期がかかる理由・・・
安価ですぐ入手できる流量センサーで本当によいのか?
一度、じっくりお考えいただいて、使い分けて頂けたらと思います。

MFC豆知識 by Deco EZ-Japan 

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08/20のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Yam_eye: おおおお。 https://t.co/PPHieDUjbg
08-20 14:24

RT @Hikoujima95: *焙煎出来立て情報・H29,8月19日*本日のお勧めは【コロンビア】シティローストです。ほどよい酸味と苦味をお楽しみいただけます。*お知らせ*8/23、24日 連休致しますm(__)m https://t.co/KdQZuPjZxn
08-20 14:20

08/19のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @saitamajin7: 埼玉県は美味しいパン屋さんの激戦区?!【さいたま市編】 https://t.co/lKM6OBmiI8 https://t.co/vQW6fTfQDV
08-19 07:41

08/17のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @itoi_shigesato: なんの話か、いまごろわかった。「自分の頭で話作んな。ええ話は世の中にあるから、訊いてこい」だね、ほんとに。 https://t.co/unNJjSYynB
08-17 15:00

RT @Yam_eye: 結局、ルックスだろうと、腕っ節だろうと、性的な魅力だろうと、学歴だろうと、地の利だろうと、財産だろうと、持てるものは全部利用するし、持ってないものは他で補うしかしょうがないので、他人と比べて愚痴ってる暇はない。#フリーランスの幸せなところ
08-17 14:55

08/16のツイートまとめ

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RT @Kyukimasa: 日本の科学研究費削減が深刻化https://t.co/nNVdjykfZxNatureがこんなに大きく取り上げるほどの
08-16 08:01

RT @MLIT_JAPAN: 【大雨で浸かったクルマ、水が引いても使用しないで】見た目は大丈夫そうでも、感電事故や車両火災の危険。ご自身とクルマの安全のために、自分でエンジンをかけないなどの対応をお願いします。詳しくはこちら↓https://t.co/rL42t7QQ
08-16 06:22

08/14のツイートまとめ

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RT @hashimoto_tokyo: “ファースト”ガンダム復活へ 安彦良和氏、節目の40周年に大プロジェクト https://t.co/BuAyYnJFGC 「スケジュールや予算の問題で完成度が低くならざるを得なかったファースト…79年当時とは比べものにならない最先端技術…
08-14 20:55

RT @hayano: 今月のドイツの電力.黄色い太陽光と薄緑の風力は乱高下.https://t.co/6nnisQx6NN @s__51: こんな風景が、ドイツの電力を支えている姿ってトコなんでしょうか。 https://t.co/LHywFXzaNH https://t.c
08-14 20:55

08/12のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Hikoujima95: *焙煎出来立て情報・H29,8月11日*本日のお勧めは【ケニアマウンテン】シティローストです。しっかりとした苦味をお楽しみいただけます。そのほか数種類出来立てです‼︎ https://t.co/UvMpeIVWfL
08-12 16:13

真・MFC千夜一夜物語 第238話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その8


もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌での連載は誌面構成の都合で今月号は休載となってます。次回は「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」2017年9月号(8/25発売予定)で連載37回として、マスフローコントローラ(MFC)のトラブルシューティングの解説<後編>となります。

液体用マスフローを用いた液体材料気化供給システムにコリオリ式マスフローを投入する事のメリットをご説明しましょう。
今までの液体用マスフローのセンサー方式の多くは熱するもの、冷やすものの差はあれ熱式です。
もう何度も見てきましたが、熱式流量計の流量式を再度見てみましょう。

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流量式に流体の物性である比熱を持つ、熱式流量計は、流体の物性が固定できて初めてマスフロー(質量流量計)となります。
それをある特定の流体との流量比で表したのが、いわゆるコンバージョンファクター(CF)というやつですね。
ガスマスフローの話でご説明しましたが、CFは1つの流体に1つではありません。
流体種により温度・圧力・流量レンジ(=マスフローの分流構造)で複数のCFがあるのが、今や常識となってきました。
「そういえば最近CFの話をメーカーから聞かなくなったなぁ・・・」
と思っておられるかもしれませんが、最新のマルチガスマルチレンジ、実ガス流量対応マスフローというのは、マルチCFを採用したマスフローの事を言い換えただけです。
最近のデジタルMFCは例えばフルスケール10SLMのマスフローの10%程度の低流量域と50%くらいの中流量、フルスケール近辺で異なるCFを持たせることが可能になってきたからです。
ただ、これはCFデータベースを整備することが前提になります。
どれだけマルチCFを入れ込めても、その値が適当では話になりませんから。

液体の場合、例えば水やエタノール等の場合はまだ良いのですが、半導体プロセスで使用されるような特殊な最新の液体材料の場合、そもそもこのデータベースが完備されているものは少ないのです。
メーカーも努力しているのですが、日進月歩の半導体プロセス材料に追いつけないのと、空気に触れると激しく燃える等、取り扱いが非常に難しい材料であり、重量法などで天秤を用いて測定するのが難しいこともあります。
また、ガロンタンクごとに器差がある場合もあり、これは保管場所の温度環境等にも左右されるナーバスな材料が多いからかもしれません。
その為、物性もよくわからないので、マスフローの特長である繰り返し性能重視で使われている事もあります。
ところが熱式の場合、前述のとおり流体の物性に左右される根本的な流量式の特性があるので、流量計としての繰り返し性能は維持できても、プロセスの再現性は維持できないという問題が生じ易いのです。

液体流量測定段階で不安要素を抱えながら、更に気化器で気化を行うことでチャンバーに導入する液体材料気化供給システムの場合、気化器の気化効率というもう一つのファクターが存在することになります。
液体マスフローと気化器、この2つのキーパーツにそれぞれ別の不安定要素を抱えていると、どちらの問題かを検証するのはなかなか難しいところがありませんか?

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ここで液体マスフローをコリオリ式に変えてもらえば、前述の熱式の不安要素は解消します。
なにせコリオリ式は流体の物性を問わず、仮に物性が変化したとしても、常に流体の質量流量を測定できる、言わば“流しながら測れる秤”なのですから。

これで気化器の気化効率の問題だけにフォーカスすることができますね?
これが液体材料気化供給システムにコリオリ式マスフローをお薦めする理由です。
しかもコリオリ式は分流構造の無い、SUSの単管を曲げただけの流路構成ですから、異物による分流比の変動が流量測定結果に影響したり、デットボリューム(液溜り)を形成する場所が無い点でも理想的だと言えます。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan


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08/07のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : 腐食性ガス向けMFM/MFC https://t.co/tY7Sh09eAV https://t.co/t0MzOFlmwp
08-07 12:40

08/05のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Hikoujima95: *焙煎出来立て情報・H29,8月5日*本日のお勧めは【マンデリン】シティローストです。独特な苦味をお楽しみいただけます。*お知らせ*8/7〜8/9の間臨時休業致しますm(__)m https://t.co/ZyEeYGWRq1
08-05 18:36

08/04のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @NLinJapan: 【オランダ大使館と総領事館の新しいウェブサイト】 オランダ大使館と総領事館のウェブサイトは4月4日に新しく二つのウェブサイトに分かれました。「https://t.co/g1yzyPtUvT」「https://t.co/JnHqnbYWsf」ぜ…
08-04 17:44

RT @NLinJapan: This survey of the Embassy of the Netherlands is to look into our social media. Thank you for your cooperation! https://t.co
08-04 08:20

RT @NLinJapan: 【アンケート・ご協力のお願い】オランダ王国大使館はNLinJapanソーシャルメディアを改善するためにアンケートを実施しています。皆様のご協力をお待ちしております!日本語: https://t.co/SbrZMi544i
08-04 08:17

RT @Hikoujima95: *焙煎出来立て情報・H29,8月3日*本日のお勧めは【エチオピア モカ】シティローストです。柔らかい酸味をお楽しみいただけます。そのほか数種類出来立てです。*お知らせ*8/7〜8/9の間臨時休業致しますm(__)m https:…
08-04 08:15

真・MFC千夜一夜物語 第237話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その7

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌での連載は誌面構成の都合で今月号は休載となってます。次回は「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」2017年9月号(8/25発売予定)で連載37回として、マスフローコントローラ(MFC)のトラブルシューティングの解説<後編>となります。

さて、微小流量用コリオリ式流量センサーを搭載したマスフローメータ(MFM)やMFCの解説をさせて頂いていますが、セミコン・ジャパンや学会併設展示会に展示していますと、お客様から「この微小流量コリオリマスフローは、どういった用途で使うといいの?」という質問を頂きます。
確かに世の中には熱式微小流量液体マスフローもある訳で、どういったメリットがあるのだろうと考えられるのは、もっともなので、今回から“コリオリ式マスフローは、このアプリケーションにお奨め”をご紹介していきたいと思います。


1.液体気化システムでの流量測定
まず、一番お薦めするのが、液体材料を気化器で気化供給するプロセスです。
半導体成膜材料等には常温常圧で液体のもの(TEOS等)が多く使われています。
こういった材料をチャンバーに供給するのに、最初に用いられたのは、バブリング(下図)やベーキングのような方法で気化した気体を、チャンバーへ導入する方法でした。

170801_02.jpg
<出展:ブロンコスト・ジャパン(株)>

バブラーではマスフローは熱式気体用、ベーキングでは熱式高温気体用のものが使われていましたが、供給系の温度管理の難しさ、液体材料の高沸点化により、熱式液体MFCを用いて、常温で液体を流量測定・制御し、チャンバー近くで気化器を用いて昇温気化する方法が開発され、普及しました。
下図はALDプロセスで複数の液体材料を気化供給するシステムの例です。

170801_01.jpg
<出展:ブロンコスト・ジャパン(株)>

ここに示したブロンコスト・ジャパン(株)の提供するCEMシステムは、液体材料用MFM+キャリアガス制御用MFC+液体流量制御バルブ付気化器から構成されています。

170801_03.jpg

液体用マスフローを用いた気化供給システムの構成は、図のような液体流量を測定するMFM部と、気化器前段で流量制御する制御バルブ部、キャリアガスラインを制御するMFCそして気化器で成り立っています。(必ずしもこの組合せになる訳ではありません。)
チャンバーまでのほとんどの配管を液体材料の状態で常温搬送する事で、ヒーターやヒートエクスチェンジャーで温度管理を必要とする経路を短縮し、温度ムラや断熱膨張による再液化を防ぐことができるのが、利点です。いきなりチャンバー内のウエハーに再液化した液体材料がドバっと落ちるような事は絶対避けたいですから・・・

では、このシステムをコリオリ式マスフローに置き換えるとどうなるのでしょうか?
その解説は次回にさせてもらいます。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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07/31のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @hideshione: モチベーション(動機)を求める暇があったらファウンデーション(土台)を鍛える。モチベーションなど無くても、ファウンデーションがあれば仕事は立派に遂行できる。モチベーションがあってもファウンデーションが無ければ仕事は満足にできない。
07-31 08:19

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : マスフローメータ・コントローラ 国内メーカー様製造品 https://t.co/7htF9U0pg4 https://t.co/TkOyAoIm5U
07-31 08:18

プロフィール

EZ-Japan(イージージャパン)代表 黒田 誠

Author:EZ-Japan(イージージャパン)代表 黒田 誠
MFC千夜一夜物語のDeco こと 黒田 誠 です。
2014年6月より流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”EZ-Japan(イージージャパン)として開業いたしました。

流体の流量・圧力・温度に関わる計測・制御技術の伝承と、新技術のご紹介を行うエバンジェリスト(伝道師)の仕事を生業といたしております。

日本工業出版さんの「計測技術」誌で”マスフロー千夜一夜物語”の連載を続けさせて頂いています。

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