04/29のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @kamiumach: 【偉人の言葉】思考に気をつけなさい、それはいつか言葉になる言葉に気をつけなさい、それはいつか行動になる行動に気をつけなさい、それはいつか習慣になる習慣に気をつけなさい、それはいつか性格になる性格に気をつけなさい、それはいつか運命…
04-29 14:17

04/27のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : [再掲] 大流量サーマルマスフローメータ・コントローラ(液体用) https://t.co/eHOk62dlDu https://t.co/YQq0z2iHol
04-27 06:33

04/25のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @BronkhorstJP: マスフローメータ/レギュレータ”MASS-VIEW”の大流量(max. 500 slm Air)向けモデルMV-108, MV-308の販売にあわせ、日本語版カタログを更新し掲載しました。https://t.co/V8h3iAnPcn
04-25 12:20

真・MFC千夜一夜物語 第232話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その2

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年4月号(3/25発売)で連載33回を迎えさせて頂きました。
mini cori-flow m
コリオリ式マスフロー <出展:ブロンコスト・ジャパン(株)>

コリオリ式流量センサーの流量式を下図で示します。
もう何度かこのブログで登場しているので、おなじみの方もおられるかもしれませんね。
160418_01.jpg

マスフローコントローラー(MFC)で主流である熱式流量センサーとの差は、流量式に一切流体固有の物性を必要としていないことです。
熱式流量センサーは下図のように流量式に流体の比熱を組み込んでいます。
170425_02.jpg

つまり、流体の種類、もしくは混合比率が明確になっていないと正しく流量を導くことができないというのが、熱式の弱点なのです。
流体が空気や窒素なら実ガスで流量校正することも可能ですが、ホスフィンのような大気中で自然発火してしまい、なおかつ毒性が強いガスの実ガス校正はナンセンスですし、液体では半導体プロセス用の新しい材料で物性が明確でないものも当然あります。
組成が刻々と変化するような混合流体もあるでしょう。
こういった流体に対しては、校正流体である窒素や水に対して、コンバージョンファクター(CF)という補正値を設定して運用するのですが、温度、圧力、MFC内部の分流構造によってCFは一つではありませんし、そもそも組成がわからない流体の場合は、CFそのものが算出できません。

それに対してコリオリ式は、物性を問わずチューブを流すことができる粘性の流体ならば、どんな流体でも質量流量で測定ができます。
ここで重要なのは、質量流量(Mass Flow)だということですね。
温度・圧力に応じた補正(温圧補正)が不要の重さ=質量で流体を測れるのは、コリオリ流量センサーだけです。
「いや、マスフローには熱式も圧力式もありますよ!」という声が聞こえてきそうですが、まず圧力式と言われるオリフィスやラミナーの前後差圧を測定して流量を導き出す方式は体積流量計ですので、温圧補正が必要です。
熱式は質量流量計に分類されますが、熱の移動を測る測定原理からして温度影響が大きくあり、その補正範囲での限定した質量流量計ですし、先ほど説明したようにCFの信憑性という固有の問題も抱えており、不完全です。

今の時点で完璧な質量流量計と呼べるのは、コリオリ式だけなのかもしれませんね。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

テーマ : ものづくり
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04/24のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Yam_eye: カッコ良すぎ! https://t.co/AHZljwytlB
04-24 13:33

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : コリオリ式マスフローコントローラの流量単位 https://t.co/OZi8NNUcK1 https://t.co/HdUNvDh2xa
04-24 13:31

04/21のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Yam_eye: ルノーアルピーヌA110は本当に素晴らしい車だった。スケッチは友人が所有するA110に出会った時に描いたもの。飛んでるし。(画用紙にサインペン、マーカー。1995年ぐらい)#YamSketches https://t.co/uLbFisBRvb
04-21 15:47

RT @NIMS_PR: うひょ~!!あ、失礼しました、国の機関としたことが気さくすぎる言葉遣い…。あまりにうれしかったもので。と、届きました。印刷所からたった今。先日、お知らせしましたヨシタケシンスケさんがNIMSのために最新科学を描いてくださった本。これ、これ…
04-21 15:47

RT @NIMS_PR: 3Dプリンタでチタン合金の型作成→SPSで銀の焼き固め→非シアンで金メッキ。NIMSの技術力の結晶です。一般公開でぜひ実物をご覧ください! →→ いらない携帯から金メダル 金を回収し活用 物質・材料研究機構:朝日新聞デジタル https://t.co/
04-21 15:46

04/19のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @hello_pantech: 先日オーダーいただいたオードブル😋 https://t.co/NrrCMGZjtI
04-19 23:35

RT @hello_pantech: こちらもオーダーです😋💛 https://t.co/Sk8nTInv2M
04-19 23:35

RT @hello_pantech: ツイッター、ごふさたしてしまいました…🙇🏼‍♀️🙇🏼‍♀️最近のパンテックをゆっくりアップしていきます🙇🏼‍♀️✨
04-19 06:45

04/18のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @azkaz2525: 悩み事でポンコツ度が増すとこの画像を見てしまうすっげー両さんに救われるww https://t.co/72GJbmiBcF
04-18 17:20

RT @itoi_shigesato: おかあさん、誇らしげ。 https://t.co/nfcHV6SfuK
04-18 07:23

RT @NIMS_PR: 宝石のダイヤモンドも単結晶。堅いという特製が強烈に出ていますが、それだけでなく、ものすごいスピードで熱を伝える重要な特徴もあるんです。こちらのページの「ダイヤモンドと熱伝導」を見てみてください。https://t.co/fGRtQlxQ1T
04-18 07:21

RT @NIMS_PR: このときだけ、ダイヤモンドの板をみなさんに触っていただけます!私が衝撃を受けたあの感触。みなさんもぜひやってみて!!私が、ウソをついていないことをわかってもらえるはず。https://t.co/6HQCAMoZL6
04-18 07:21

RT @NIMS_PR: ひとつ忘れてました。ダイヤモンドの板を工夫して、ダイヤモンドのスプーンをつくることができたら、超硬~くて食べられないハーゲンダッツも、スプーンで触れた瞬間にほどよくトロ~ン。体温が一瞬で伝わって、クリーミーに溶かしてくれます。反対に、アイスクリーム…
04-18 07:20

真・MFC千夜一夜物語 第231話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その1

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年4月号(3/25発売)で連載33回を迎えさせて頂きました。
4月号では、マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)で使用する流体(ガス)種から、半導体製造プロセスでよく使用される危険な知億種高圧ガス、その代表格としてモノシランを選んで過去の事故事例を紐解きながら、マスフローを使用する上での注意点を解説しています。

さて、今回からコリオリ式質量流量センサーを搭載したマスフロー(MFC&MFMの総称として使います)のお話です。
mini cori-flow m
コリオリ式マスフロー <出展:ブロンコスト・ジャパン(株)>

コリオリに関しては連載第152~155夜“MFCと質量流量計の関係”で一般的なサーマル(熱式)マスフローとの差を解説していますので、今回はその応用編です。
まずはコリオリ式センサーの原理の復習から始めましょう。

フランスの誇るエッフェル塔に名前の刻まれた72人の科学者の一人 Gaspard-Gustave Coriolis(ガスパール・コリオリ)は、回転運動下を移動する物体には、その移動する方向に直角に慣性力が働くことを発見しました。
この力はコリオリ力といわれ角速度と、物体の質量に比例した力が働きます
この回転系に発生する慣性力としてのコリオリ力を流量検出原理としたのがコリオリ式流量センサーです。
コリオリ式流量センサーはU字型やΩ字型(そうでないものもあり)チューブを配置し、そのチューブを振動させ、流体が通過した際にその質量流量に比例して発生するコリオリ力を、チューブの捻れの位相差をピックアップすることで測定する流量センシング方式です。
160418_01.jpg

よく例え話でコリオリ力を説明するのに使われるのが、地球上で極から赤道方向に対して垂直な向きに大砲を発射すると、地球の自転の影響を受けて弾がそれる話です。
160418_02.jpg

上の図を見て頂ければ理解しやすいかと思います。
地球という球体を極方向から見て円と考えてもらっても結構です。
これは確かに地球という回転系で発生するコリオリ力の影響なのです。
と、いっても地球規模の回転系ですから、現実の世界では普通の拳銃程度では影響は受けません。
1km以上の射程を持つロングレンジ・スナイパーライフル等ではコリオリ力の影響を計算に入れる必要があり、最近ではその弾道計算をしてくれるスマホアプリがあると聞きます。

この話を誤解して、コリオリ流量計は地球のコリオリ力を利用していると説明されている方もおられますが、先ほどの拳銃の例えのとおり、マスフローや流量計のような小さな配管系では地球の自転から派生するコリオリ力はほぼありません。
だから配管自身を回転運動させないといけないのです。

コリオリ流量センサーでは、配管系を回転させる代わりに振動をさせています。
振動と回転は異なる運動系に見えますが、実は回転軸に対し垂直方向からフォーカスすると同じ動きであることが理解できます。
160418_03.jpg

コリオリ式センサーは、回転系に発生する慣性力であるコリオリ力を取り出す目的で作られた仮想回転系と考えてもよいのかもしれません。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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04/17のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Yam_eye: 大きな視点で見るといつの時代も、短期的成果を求める時の権力から文化財を守って今日まで残してきたのは、宝物殿、博物館、美術館の守り人たちだった気がするので、今回もがんばってください。
04-17 08:08

RT @NIMS_PR: 刃文って何?刃文ってどうやって描くの?茨城唯一の刀鍛冶、宮下さんがNIMSに登場。日本刀の美から作刀のポイントを解説。https://t.co/53QLd5LPkN4月23日。お早めにお申し込みを!#日本刀 #刀剣乱舞 #刀剣女子 #情…
04-17 08:08

RT @AIST_JP: 【産総研で働く職人!】 4/16(日)11:30~放送予定のBSフジ「ガリレオX」で、地質標本館の薄片技術が特集されます。岩石を30ミクロンまで薄く磨き上げる薄片技術はまさに「職人技」、そんな「職人」の姿をぜひご覧ください!https://t.co/
04-17 08:08

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : コンパクトなマスフロー用指示設定器 https://t.co/DzXeoWJHP9 https://t.co/6UwCMTj8Z8
04-17 08:07

04/13のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

いや、うちはイージージャパンなんですが…イージージャムパン?? https://t.co/RPYUgLFvp0
04-13 12:15

04/12のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @nikkei_bizdaily: 「日の丸メモリー」は消えるのでしょうか。#東芝 が分社した半導体メモリー事業の売却交渉。日本企業は出資に及び腰です。明日(12日)の日経産業新聞です。 https://t.co/XXAUI9ynz6
04-12 09:26

04/11のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @BronkhorstJP: Bronkhorst(R)製マスフローの継手の取付けについて、注意事項をまとめました。https://t.co/BZ7AkCf5d3
04-11 17:40

RT @AIST_JP: 極薄化したシリコンセンサーや回路チップをフレキシブル基板上に集積化する技術を利用して、橋梁のひずみ分布を常時モニタリングできるセンサーシートを開発しました。橋梁への取付けも簡単で、橋梁の健全性評価や効率的な点検への貢献が期待されます。https://t…
04-11 17:40

RT @BronkhorstJP: 本質安全防爆マスフローメータ(TIIS認証)のカタログを掲載しました。https://t.co/F2moLW24FE
04-11 17:40

RT @BronkhorstJP: 本質安全防爆マスフローメータ(TIIS認証)の取扱説明書を掲載しました。https://t.co/bd2MnRiLOJ
04-11 17:40

「会社は勉強する場所ではなく、社員が学んだことを使って貢献する場所です。基本をたたき込まれたら、あとは自分で上がっていくしかありません。社員は育てるのではなく、自分で育つもの。だからこそ若い人には学べ、と言いたいです。」その通りで… https://t.co/AANIYRoQJp
04-11 17:37

【お願い】マスフローを修理で返却する際は

お使いのマスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)を修理や再校正作業の依頼でメーカーに返却される場合、気を付けて頂きたい事があります。
bronkhorst_mfc.jpg
修理依頼品に付けて頂きたいメーカー指定の書式があるとお思いますが、Decoが現役のメーカー時代から、これが記載されていなかったり、不十分なものが散見されます。

こういった行為は内容確認で双方の時間を浪費するだけでなく、最悪の場合作業者の健康を損なったり、生命の危険を招くこともあります。
「Decoさん、いくらなんでも大げさでしょう。」と言われるかもしれませんが、マスフローに流される流体は決して安全な空気だけではありません。
特に半導体製造では毒性、可燃性のガス種のオンパレードであり、ppmオーダーで致死量に至るガスもあります。

もう時効だからお話ししますが、20年以上前お客様から返却された窒素のマスフローに塩素が充たされていたことがありました。添付された書類にはどこにも塩素を流したとは書いてなく、パージの項目は「済み」と記載しました。
受け入れ作業で開封したところ、わずかに塩素ガスの匂いがしたので、あわてて除害ボックスに放り込んだのですが、受け入れ担当は気が付くとうっすらと鼻血が出ていたとのことです。
この話を依頼元のお客様にしたところ、「知らない、君たちの受け入れのやり方が杜撰なんだろう。」と言われました。
安全を確保するには、すべてを疑ってかからないといけないのは確かで、受け入れ側にも改めるべき点はありましたが、自分達が使用したプロセスを把握していない杜撰な人に言われたくはありませんね。
(因みにその会社は経営のやり方も杜撰だったのか、もう存在していません。)

マスフローコントローラの修理や再校正をご依頼頂く際は、以下の事を明確にしましょう。

・依頼者の連絡先
・製造番号
・どのような流体で使用されていたか?
・送る前にどのような洗浄されたか?
・故障内容の詳細(いつから、どこで、どのように不具合が生じているかを詳細に。)
・再校正依頼ならば、出荷にどういったドキュメント(トレーサビリティ体系図等)を付ける必要があるか?


Decoからのお願いでした。

MFC豆知識 by Deco EZ-Japan

テーマ : ものづくり
ジャンル : ビジネス

04/10のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @meti_NIPPON: 第2回メタンハイドレート海洋産出試験に着手しましたhttps://t.co/sLKdEJTHtJ
04-10 19:19

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : 圧力変動時などのマスフローコントローラの挙動 https://t.co/VdAWz3IRlj https://t.co/5RNnaCSLy2
04-10 19:12

RT @NIMS_PR: 日本刀で重要なのは硬いのに折れない鉄の加工法だそうな。実は伝統の手法の中に、NIMSの先端鉄鋼チームも驚く、未来の鋼(はがね)の手ががりを発見したらしいんです。
04-10 07:00

RT @NIMS_PR: 2年前、伝統の刀鍛冶と最新の金属研究者が出会い、議論を重ねて見えて来た未来の鉄鋼とは?https://t.co/sy5BGmuilP特別講演「日本刀に隠れていた未来の鋼(はがね)」事前予約受付中!
04-10 07:00

RT @Hikoujima95: *焙煎出来立て情報・H29,4月9日*本日のお勧めは【モンジュールケント】シティローストです。柔らかい苦味をお楽しみいただけます。そのほか数種類出来立てです‼︎ https://t.co/DWkWqOzykR
04-10 07:00

04/06のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

校正温度を表すN(ノルマル)とS(スタンダード)は取り違えると別物のMFCが納品されてしまいます。ご注意ください。EZ-Japanブログ参考記事→真・MFC千夜一夜物語 第182話 MFCで使う単位のお話 その1… https://t.co/v52CWtNfjQ
04-06 09:22

04/05のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Newsweek_JAPAN: 「ホントは、マタタビよりもゴハンよりも人間が好き」――猫より:猫は人間をそんなに好きなわけではないという常識が覆される研究結果が発表https://t.co/5CvFrr0lse #猫 #ネコ #ねこ部 https://t.co/r
04-05 08:40

RT @NIMS_PR: NIMSの一般公開。今年は電池がスゴいらしい。菌の電池。10円玉の電池。人工衛星の電池…。https://t.co/aN1VD1nU4d
04-05 08:40

RT @NIMS_PR: 鉄サビの色は主に4色の物質の組合せなんですって。いかにサビさせないか? 逆に、いかにサビさせて中の金属を守るか?サビなどという嫌われ物を研究している奇人もいる…。4月23日NIMS一般公開。ちなみに猫の毛は白、茶、黒の3色の組み合わせらしいから…
04-05 08:40

RT @t_okada: 「君は優秀なんだから、プログラミングみたいな低俗なことは早く辞めて人を動かせるようになれ」まさにこれ。ソニーに限らず日本の大企業はたいていこういう発想だよ。:ソニー株式会社を退職しました https://t.co/Q95LaQEW72
04-05 08:39

(株)タテヤマ製作所 ”マスフローブロアーシステム“

今回の〝EZ-Japanここでもう一押し!”で取り上げますのは再び株式会社タテヤマ製作所(千葉県館山市那古1610-1 代表取締役 テクニカルスペシャリスト 大島 誠さん)のマスフローブロアーシステムです。

170404_01.jpg

この製品はマスフローメータ(MFM)で質量流量を測定し、ブロアー(JIS表記はブロワ 200kPa以下の吐出圧のものを指す)の回転数を直接制御することで、ブロアー性能の経時変化やフィルターの詰まりなどによる下流側(吸引の場合は上流)の圧力損失変化に影響されず、質量流量制御ができます。

ここで選定したのが、このブログで何度も取り上げていますブロンコスト・ジャパン(株)のMASS-STREAMシリーズです。

170404_03.jpg

従来の分流計測式MFMでは異物の詰まりは流量異常に直結でしたが、インサーション型全量計測式MFMであるMASS-STREAMの採用で、大気の捕集、ダスト解析など非清浄な状態のガスへの適用も可能になりました。
また、特別に脈動の小さいブロワーを採用した為、MFMからのPID制御との相性が良く、安定したガス供給を実現します。

使用環境や用途にあわせて、吸入流量制御と吐出流量制御のどちらでも選択頂けます。

170404_02.jpg

【用途例】
・ダスト分析計のサンプリングシステム
・ドライヤーの風量調節システム
・バイオリアクターの空気供給システム
・フィルターの検査システム

【仕様】
・流量範囲:10~200 ln/min (0℃,1013hPa(A) 空気換算)
・適用可能な流体:空気、微粒子や粉塵を含む気体試料
・電源:100 VAC
・流量表示:瞬時・積算流量値やアラームをMFM本体ディスプレイで表示
・通信対応:RS232 , Flow Bus , Profibus-DPTM , DeviceNetTM , Modbus-RTU
* Bronkhorst HIGH-TECH B.V.社の提供するアプリでパソコンでのロギング、設定変更に対応
・外部出力:瞬時流量信号(0~5 VDC)

*上記内容は基本例です。お客様の必要とされる仕様に応じて、ワンオフでの製作を承ります。ご相談ください。

このマスフローブロアシステムは、お求めは(株)タテヤマ製作所製品を取り扱っている 株式会社フロパーサル(埼玉県川口市戸塚1-9-15-401代表取締役 水書 隆さん)までお問い合わせください。

【EZ-Japan ここでもう一押し!】by Deco EZ-Japan

テーマ : ものづくり
ジャンル : ビジネス

04/03のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @BronkhorstJP: TIISの認証を受けた本質安全防爆マスフローメータEX-FLOWの供給が開始されます。労(平29年2月)検/検・第TC21584号、4月1日以降の受注分が対象です。https://t.co/QP9qKqV3by
04-03 13:03

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : 流量計のトレーサビリティ体系 https://t.co/RRNNPf4Txq https://t.co/bCxrwNZaAv
04-03 08:59

03/31のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Hikoujima95: *焙煎出来立て情報・H29,3月31日*本日のお勧めは【コロンビア】フレンチローストです。しっかりとした苦味をお楽しみいただけます。そのほか数種類出来立てです‼︎*休業のお知らせ*4月4日、5日と連休致しますm(__)m https…
03-31 19:43

RT @AIST_JP: 産総研中部センターのシダレザクラが開花しました!まだ数輪ですが、華やかなピンク色の花びらがとても可憐ですね。さていよいよ桜の季節到来です! 今年も各地域拠点から満開の桜便りをお届けする予定です。ぜひお楽しみに! https://t.co/MCzG8Lh
03-31 16:04

プロフィール

EZ-Japan(イージージャパン)代表 黒田 誠

Author:EZ-Japan(イージージャパン)代表 黒田 誠
MFC千夜一夜物語のDeco こと 黒田 誠 です。
2014年6月より流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”EZ-Japan(イージージャパン)として開業いたしました。

流体の流量・圧力・温度に関わる計測・制御技術の伝承と、新技術のご紹介を行うエバンジェリスト(伝道師)の仕事を生業といたしております。

日本工業出版さんの「計測技術」誌で”マスフロー千夜一夜物語”の連載を続けさせて頂いています。

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