03/30のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @AIST_JP: HRP-3は、防滴・防塵ボディと滑りやすい路面歩行を実現、オペレータによるリモート操作機能も充実させた、過酷な環境で働けるヒューマノイドを目指して開発されました。身長:160cm、体重:68kg(バッテリー装着時)、特徴:42自由度、出渕 裕氏のデザ…
03-30 17:25

RT @AIST_JP: 産総研の常設展示施設「サイエンス・スクエア」のロボットコーナーには、これまで、HRP-2PとHRP-3Pという2体のプロトタイプ・ヒューマノイドと、作業用上体ヒューマノイドHIROが展示されていましたが、新たにHRP-3が登場!https://t.c
03-30 17:25

03/29のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

HPや資料用に写真撮影中です。デジイチがあると、楽ですね。 https://t.co/DP3P1GQZNn
03-29 12:13

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : 国内防爆マスフロー https://t.co/r6lExLRMwE https://t.co/Ft3zNK2xaA
03-29 07:36

真・MFC千夜一夜物語 第230話 MFCの制御不良とは? その12

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年4月号(3/25発売)で連載33回を迎えさせて頂きました。
4月号では、マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)で使用する流体(ガス)種から、半導体製造プロセスでよく使用される危険な知億種高圧ガス、その代表格としてモノシランを選んで過去の事故事例を紐解きながら、マスフローを使用する上での注意点を解説しています。

170328_01.jpg


MFCは制御しようとするのだけれど、その流量制御の過程がおかしな場合のお話です。
今回は最後の「出流れ」ですね。
出流れ=内部リークともいい、既に本ブログでは解説済みですが、復習の為に振り返ってみましょう。

参考記事
真・MFC千夜一夜物語 第42夜 アクチュエータの孤独な戦い
真・MFC千夜一夜物語 第163話 MFCに異物が混入した場合 その6

出流れは低流量域で設定流量に対して、流量出力が上回り、設定を可変しても流量が一定量流れ続けてしまう現象です。
この場合にMFCの流量制御信号(SV値)と流量出力信号(PV値)の関係は、以下の図のようになります。
170328_02.jpg

そもそもMFCのバルブは完全閉止を機能として有しているわけではありませんから、上下流にある閉止弁でシャットオフしてしまえば問題はないのですが、この出流れ量がMFCの最小流量制御量よりも大きくなり、使用したい設定流量を超えてしまうと話は別です。
「流量を絞り切れない」という問題が生じてしまうことになりますね?
MFCでいう「出流れ」という制御不良は、こういった状況を指しています。

原因として最初に考えられるのはバルブオリフィス部分への異物が噛みこんだ場合です。
MFCをパージや真空引きを繰り返してして、挟まった異物を除去すれば回復することもあります。ただ、バルブシートに傷がついた場合は、異物を除去できても、その傷が原因でギャップが生じてやはり出流れが続くこともありますし、パージで取りきれない異物もありますので、その際はメーカーへ修理依頼した方が無難です。

次に考えられるのが、圧力条件、特に差圧条件の問題です。
MFCには許容最大差圧が定義されています。
その差圧条件で調整されているMFCに対し、過大な差圧でガスを供給した場合、出流れが生じる可能性が高いのです。
よく勘違いされているのが、MFCの差圧というのはMFC直近の一次側圧力-直近の二次側圧力なのに対して、ずいぶん離れたボンベやチャンバーの圧力をそれと定義してしまうミスです。
この場合はどちらかというと最低動作差圧条件が守れない場合に多いですね。
逆に今回のような差圧が大きすぎるという場合は、上流側の圧力計の不具合、もしくは本来背圧が立つべきプロセスで、MFC二次側が手違いから大気解放になってしまった場合に生じます。

第3に考えられるのが、MFCの仕様ガス種と異なる軽いガスを使用していた場合です。
これはN2用のMFCにH2やHeを流している際に生じます。
170328_03.jpg


第2第3の原因に関しては、差圧条件を適正化する、もしくはH2やHeの供給圧を下げるといういずれもレギュレーター側の圧力調整で何とかなる場合が多いので、焦らずに試してみましょう。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

03/27のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : お客様での社内展示会 https://t.co/GUaO8F4w50 https://t.co/8Dv7u88gey
03-27 17:32

RT @itoi_shigesato: これ、知らない人のほうが、まだ多いんだろうなぁ。 https://t.co/cjI5VAjqsQ
03-27 07:07

RT @AIST_JP: 【プレスリリース】200 ℃から800 ℃の熱でいつでも発電できる熱電発電装置~冷却水不要のポータブルな空冷式熱電発電装置の開発~https://t.co/XEg5rH6Uz7 https://t.co/ZjeHEb3rge
03-27 07:05

RT @AIST_JP: 高温でも安定して発電する酸化物熱電モジュールとヒートパイプを用いて、空冷式の熱電発電装置を開発しました。工業炉などからの排熱を用いた発電による省エネ・二酸化炭素排出量削減への貢献や、災害時の緊急電源としての使用が期待されます。https://t.co/
03-27 07:04

RT @Yam_eye: 今年卒業する人たちにプレゼントした「猫たち」。水彩画家Penovác Endre氏の猫の絵があまりに素晴らしかったので、そのにじみを使った技法を真似て描いてみた。未知の技法への挑戦はいつも楽しい。#YamSketches #卒業生に贈るスケッチ h…
03-27 07:04

03/24のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Yam_eye: 3年前の自分の言葉にしみじみ同意。 https://t.co/8EFMYxzRgQ
03-24 11:31

03/23のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

2017年はVAIO誕生20周年。いちVAIOファンが語る「これまで」と「これから」 - Engadget 日本版 https://t.co/qxw49YIskw @engadgetjpより僕にとってのVAIOはやっぱりC1。あんなに楽しくて使えるモバイルPCは他に無かった。
03-23 06:38

03/22のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @wako3999: 【夜の4コマ部屋】安全きじゅん / サチコと神ねこ様 第546回 / wako先生 https://t.co/kP65yyxVyB https://t.co/Slya0uqDZk
03-22 15:52

RT @aperson108: “他者に寛容であるためには、多くを失い、夢に破れ、理想が幻だったと知らなければならない。そういう意味では、若さと希望を持っているうちは、人間は不寛容の塊みたいなものである。”↑凄い同意。少しずつモノゴトを知り始めて感じている。https://…
03-22 15:49

ちょっと体調不良で、今週のブログ更新は、お休みさせて頂いてます。感染症って怖いですね。免疫力が低下してたみたいです。皆様もお気をつけになって下さい。
03-22 11:58

03/17のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @nhk_seikatsu: 【AEDが救った命】フットサルの試合中に胸にボールが当たり倒れた選手。居合わせた人たちの救命処置とAEDで救われました。AEDは電源さえ入れれば簡単に使えます。必要なのは知識と勇気。救助された選手、救助に当たった人が語りました。https:/…
03-17 14:59

コンパクトマスフローコントローラーIQ+FLOW。お見せした方にはかなりのインパクトのようです。ボディ側のメスネジが10-32UNF というちょっと日本では見慣れないものなので、金属ワンタッチ継手を探し出してEZ-Japanで取り… https://t.co/kQ9w0gYrGk
03-17 07:52

03/16のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

コリオリ式を熱式ガスマスフローの流量スタンダードにしたいと思い、ユーザーさんを回ってヒアリングしてます。ネックは圧力損失。どんなポンプを使っても大気圧は1013hPa(d)しかない、昨夜もホテルであーでもない、こーでもないと頭を巡らせてました。なんとなく朧げに見えて来たような…
03-16 08:17

03/14のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Hikoujima95: *焙煎出来立て情報・H29,3月14日*本日のお勧めは【コロンビア】シティローストです。酸味と苦味のほどよいバランスをお楽しみいただけます。そのほか数種類出来立てです‼︎ https://t.co/WAUd6gyVQU
03-14 21:55

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : [動画紹介]製菓用マスフローポンプ給液システム https://t.co/2o6yWrL7cR https://t.co/TMNjXPK0FM
03-14 21:55

ブロンコスト・ジャパン(株) 国内防爆検定TIIS合格!

既にブロンコスト/マスフローのblogで報じられていますが・・・
「国内防爆取得!!」

ブロンコスト・ジャパン(株)の防爆仕様マスフローが、日本国内防爆検定「TIIS」に合格したとのことです!
これは今年のマスフロー業界、計装業界のニュースの中で確実に5本の指に入るビックニュースになるとDecoは思います。

170313_02.jpg

これまで他社メーカーで耐圧防爆構造のものが販売されていましたが、ほとんど競争が無い世界で、堅牢な構造もあって非常に高価な製品となっておりました。
今回TIIS検定に合格した防爆マスフローは、「本質安全防爆」なので、万が一の場合に爆発を封じ込めるの構造ではなく、基本設計で爆発しない=爆発するようなエネルギーを危険場所に持ち込まない設計なのです。

製品リリースはまだ未定とのことですが、期待して後報を待ちましょう。

MFCニュース by Deco EZ-Japan

テーマ : ものづくり
ジャンル : ビジネス

03/08のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Newsweek_JAPAN: 人工磁場で太陽風防ぎ、 火星を居住可能に :NASAが新計画を提案 https://t.co/VfFr5lJDLY https://t.co/p0kJcZuvKm
03-08 13:31

RT @Yam_eye: 全然そっち方面の趣味はないのに欲しいと思ってしまった。 https://t.co/SAx9hIiR5y
03-08 13:30

RT @Hikoujima95: *焙煎出来立て情報・H29,3月7日*本日のお勧めは【ブラジル】ハイローストです。爽やかな苦味をお楽しみいただけます。そのほか数種類出来立てです‼︎ https://t.co/NXb0lobRxh
03-08 13:29

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/サービスのblog : 長時間使用のマスフロートラブル https://t.co/MkmzXiZMSy https://t.co/HVUO6EQjed
03-08 13:21

03/07のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : 国内防爆取得!! https://t.co/wPyrAWUfJJ https://t.co/3B0ga0Fnn1
03-07 16:49

これは凄い事です。今でなかったJIS本質安全防爆仕様のマスフローの出現です。 https://t.co/pn8jRNRAan
03-07 16:48

(株)タテヤマ製作所 電源指示設定器“PTS-001EXT”

今回取り上げますのは株式会社タテヤマ製作所千葉県館山市那古1610-1 代表取締役 テクニカルスペシャリスト 大島 誠さん)のマスフローコントローラ(MFC)/マスフローメーター(MFM)用 電源指示設定器 “PTS-001EXT”です。

170306_01.jpg

この製品はマスフロー(MFC&MFMの総称)に必要なAC/DC電源と流量表示機能、そして流量設定機能(MFCでのみ使用)をオールインワンにしたパネルマウント対応ユニットです。
マスフローにはMASS-STREAMのように本体に表示設定機能を持ち、ACアダプターを用意すればスタンドアローンで操作できるものもあります。
161109_02.jpg
でも、それは少数派で、ほとんどの場合、本体はただのお弁当箱というか金属の塊で、これだけでは何もできないスタイルのものが多いですね?
bronkhorst_mfc.jpg

そこで電源、流量指示器(表示器)、流量設定器が別に必要になります。
昨今のマスフローは電源仕様が±15VDCから+24VDCへと変わりつつあり、その点で市販のスイッチング電源を使いやすくなりましたが、マスフローの特性上、あまりチープな電源を選ぶとゼロ点のドリフトや、バルブのリフト量不足を起こしてしまったりすることもあり、マスフローメーカー製の電源を好まれるエンジニアも多い状況です。
また、表示ユニット、設定ユニットをバラバラで調達して配線するのも面倒です。

Bronkhorst HIGH-TECH B.V.(ブロンコスト)でも、一体型電源ユニットを準備していますが、ラックマウントまたはテーブルトップの1/2 19”または19”ハウジングでヘビーデューティな仕様であり、「複数のマスフロー用にパネルマウントできるものを・・・」というユーザーの声に応えられる製品がありませんでした。

(株)タテヤマ製作所の大島社長は、Decoにとっては大先輩、業界では有名な“計装のプロフェッショナル”です。
こういったブロンコスト製品ラインナップの盲点をいち早く察して、かゆいところに手が届くコンセプトのPTS-001EXTを企画されました。
マスフローを動作させるのに必要最小限の機能を1つに集約し、パネルマウントも可能な構成を取りつつ、お求めやすい価格設定で提供しておられます。

PTS-001EXTの仕様を以下に示します。
170306_02.jpg

表示部は温調器等で見慣れた設定値(SV値)と流量値(PV値)の2段表示です。
SV値が緑色、PV値が赤色で表示されるので視認性は良好。
PV値の表示スケールは0001から9999、小数点位置は0.000から0000.まで任意に設定可能。
SV値は流量値での設定と、パーセント(%)での設定のいずれかを選択可能です。
フルスケールが1750L/min等という切りの悪い数字の場合に、案外この%設定というのは便利です。
MFCとのI/Oは0-5VDCですが、大島社長に伺ったところ、「次期製品で4-20mA仕様を出すかも?」というニュアンスでしたから、楽しみにしていましょう。
大きな特徴は搭載電源の容量で、24VDC 500mAと、ソレノイドアクチュエーターの電力消費が大きい大流量MFCにはうれしい余裕のある設計です。

そしてファーストバージョンであるPTS-001には無かった、今回のセカンドバージョンPTS-001EXTで搭載されたうれしい機能が、フロントパネル下面にあるリモート/ローカル設定切替スイッチです。
これはPTS-001EXTでマスフローを制御するモードと、シーケンサーなどの上位制御機器から制御するモードを任意で切り替えられる機能です。
背面端子台に外部設定入力端子がありますので、ここにシーケンサーからの設定信号を接続しておけば、あとは前面パネルのスイッチで切替するのみ。
もちろんこのスイッチは不用意に切り替わらないよう引き出して操作するロック機能付きです。
どういった場合にこの機能が必要かというと、普段の自動運転はシーケンサーからの外部入力設定で動かすけれど、システム立ち上げ時や、自動制御にトラブルが発生した時、そしてメンテナンス時に、マスフローをコントロールパネルにあるPTS-001EXT側から単独で制御したい場合等に非常にありがたい機能なのです。
ファーストバージョンに対する市場でのこういったニーズを確認するやいなや、それに対応したセカンドバージョンを投入されたのは、お見事でした。

このPTS-001EXTシリーズは、ブロンコストのマスフローとの親和性がとても高い製品です。
お求めは(株)タテヤマ製作所製品を取り扱っている株式会社フロパーサル(埼玉県川口市戸塚1-9-15-401 代表取締役 水書 隆さん)までお問い合わせください。
技術的なお問い合わせはEZ-Japanまでいただいても結構ですよ!

【EZ-Japan ここでもう一押し!】by Deco EZ-Japan

テーマ : ものづくり
ジャンル : ビジネス

03/06のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : [FAQ]マスフローメ―タ・コントローラ前後の直管部配管径 https://t.co/qB0Yo1f3GD
03-06 08:29

RT @Astro_Kimiya: ISSから私が撮影した月の写真。大気は、私達が生きていく上で必要不可欠ですが、天体を観測するときは、観測を妨げてしまう事が理解いただけるかもしれませんね。宇宙から見る星々は、大気の擾乱が無いので瞬かず、静かに光っていました。もしかしたら、瞬い…
03-06 08:28

RT @AIST_JP: 太陽電池のシリコン基板と絶縁体との界面の電場を直接観察し、絶縁膜中の固定電荷量と面内分布を非破壊かつ高い空間分解能で可視化する技術を開発しました。太陽電池の開発に本技術を適用することで、変換効率の向上への貢献が期待されます。https://t.co/7
03-06 08:27

RT @Hikoujima95: *焙煎出来立て情報・H29,3月5日*本日のお勧めは【トラジャ】シティローストです。スッキリとした苦味をお楽しみいただけます。そのほか数種類出来立てです‼︎ https://t.co/fPUXJ6FOkn
03-06 08:27

メインPCのロジクールのキーボードの調子がおかしいと思ったら・・・我が家の雌猫にUSB端子部をカミカミされて、断線直前で接触不良を起こしていました。メインPCがお年寄りなので、Bluetoothや無線のマウスは不安定で使いたくなくて・・・消耗品と割り切ってまた有線のを買います。
03-06 08:26

03/02のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : [動画紹介]MASS-VIEW熱式マスフローメータ/レギュレータ/コントローラ https://t.co/lD8F1gEf5i https://t.co/X1Yg70rBzQ
03-02 12:25

03/01のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Bronkhorst: Watch our NEW VIDEO MASS-VIEW Mass Flow Meter / Regulator - Principle of Operationhttps://t.co/N0FcWQbEfz https://t.co/0ZS
03-01 08:33

02/28のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Hikoujima95: *焙煎出来立て情報・H29,2月26日*本日のお勧めは【トラジャ】シティローストです。スッキリとした苦味をお楽しみいただけます。そのほか数種類出来立てです‼︎ https://t.co/d3LJAnMCtl
02-28 14:46

RT @hello_pantech: 今日はこんな新作も💛バタークロワッサンにイチゴチョコレートをコーティングし、中にはたっぷりのホイップとフルーツが…🍓🍓本日、限定30個で販売いたします😋✨ https://t.co/r89E1TnCkC
02-28 14:46

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : Mass Flow ONLINEのマスフローメータ https://t.co/FcdeVxF1iA https://t.co/bm987ieDPv
02-28 14:46

プロフィール

EZ-Japan(イージージャパン)代表 黒田 誠

Author:EZ-Japan(イージージャパン)代表 黒田 誠
MFC千夜一夜物語のDeco こと 黒田 誠 です。
2014年6月より流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”EZ-Japan(イージージャパン)として開業いたしました。

流体の流量・圧力・温度に関わる計測・制御技術の伝承と、新技術のご紹介を行うエバンジェリスト(伝道師)の仕事を生業といたしております。

日本工業出版さんの「計測技術」誌で”マスフロー千夜一夜物語”の連載を続けさせて頂いています。

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