02/27のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @hello_pantech: 先日、栄和小学校サッカー少年団様からご注文を頂き、箱詰めを作らさせていただきました!贈り物なども、事前にオーダーを頂ければ、特別にご用意することも可能ですので、お気軽に連絡ください♪TEL→0487113141 https://t.co
02-27 14:51

02/25のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

Sensirion Unternehmensportrait https://t.co/NUsp8JXD9t SENSRIONさんも見つけました。結構、海外のメーカーさんはyoutubeを熱心にアップされてますね。
02-25 12:00

Brooks Instrument Beyond Measure https://t.co/4JvlurvincBROOKSさんのyoutube見つけたので貼っておきます^^
02-25 11:55

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : [動画紹介]マスフロー運転表示ソフトウェアFlowViewの機能と操作 https://t.co/vcetVEu4rg https://t.co/cDq8ogciSq
02-25 11:47

RT @BronkhorstJP: [お知らせ]デジタルマスフローメータ・コントローラ向けローカル表示器BRIGHTのカタログを掲載しました。https://t.co/mVPjhV1FL5
02-25 00:39

RT @BronkhorstJP: チップセンサー搭載、小型ガス用マスフローメータ/コントローラIQ+FLOWのカタログを更新しました。https://t.co/QLI2jM83xl
02-25 00:39

02/24のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @BronkhorstJP: [動画紹介]CTAタイプのサーマルマスフローコントローラ”MASS-STREAM"の動作機構などご紹介します。https://t.co/NjikPmWm5u
02-24 08:28

真・MFC千夜一夜物語 第207話 MFCの継手のお話 その9

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2016年2月号(1/25発売)で連載20回を迎えさせて頂きました。
今回はスイスからやってきた最新のCMOS流量センサーを搭載したMFC(マスフローコントローラー)であるSensirion社製品をDecoがパソコンで動かして遊んでみた少しライトな記事となっております。
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

今回もIGS(Integrated Gas System)で使用されている表面実装型(サーフェスマウントタイプ)=ダウンポートタイプのMFCのお話です。
前回、IGSで使用されるMFCがダウンポートタイプであること、サイズは横幅寸法2種×奥行き寸法2種=4種であることをお話ししましたが、それで手持ちのIGSでMFCがトラブルを起こした際に代替品を手配する際に充分かというと、そうではありません。
もう一つ重要なファクターとして「シール方式」があります。
前回写真をお借りしたITWジャパン株式会社のGF100シリーズのカタログを見てみましょう。
160223_01.jpg

寸法が同じ例えばA寸法=92mmスタンダードサイズ、でD寸法28mm(1.125インチ)タイプにCXとWXという2種類のコードが設定されています。
他の寸法を見ても全て共通ですから、MFCを普通に横から見ただけでは区別が付きません。
160223_02.jpg

モデルコードを引用させてもらうとこうなっていました。
両者の違いはシールだけ、つまりダウンポート部=MFCの底面を見ないとわからないのですね。

では、シール方式とは何でしょうか?
MFCを勉強されてきた方は「メタルシール」「ラストマーシール」といった用語を思い出されるかもしれませんね。
確かにシールと言う言葉の用法としては共通で、双方ガスを漏らさない為のシールの事を言っていますが、大きく異なるのは、基本的に脱着を想定しているか、していないかです。
IGSのMFCは何らかの不具合が生じたときに外して、修理や交換が必要になります。
その為、ユーザーが基礎知識とスキルを取得して、適切な工具を用いれば脱着は容易になっています。
それに対してメタルシールのようなMFCの内部構造に用いられるシールは、基本はメーカーサイドでしか脱着しない、再接続に研磨設備等が必要になるもので、ユーザーでは脱着することは考えていません。
(エラストマーOリングならばユーザーで脱着できるよ!というツッコミは勘弁して下さい。基本的にOリングを交換して最後にリークチェックまでをメーカーが行うのが製品保証の定義ですから。)

こういったユーザーで脱着可能という意味で、IGSで用いるシール方式というのは、通常配管の継手種と同じ意味合いだと理解頂けばよいでしょう。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

テーマ : ものづくり
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02/23のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @pref_saitama: 埼玉県立がんセンターの手術支援ロボット「ダ・ヴィンチ」を使った胃がん手術が、県内医療機関で初めて先進医療として国から承認されました!手術以外の検査や入院などの費用が保険適用となります。https://t.co/6i5bjyVGFw http…
02-23 17:58

RT @Astro_Kimiya: 馳文部科学大臣を表敬訪問し、国際宇宙ステーションでのミッションを、無事にやり遂げた事を報告させて頂きました。ミッションの成功に対して、温かいお言葉を頂き、私のこれ迄の努力が報われた想いがしました。明日の午前は、共同記者会見が予定されています。…
02-23 17:56

RT @Hikoujima95: *焙煎出来立て情報・H28,2月22日*本日のお勧めはブラジル産の【 モンテアレグレ】です。柔らかい苦味をお楽しみいただけます。そのほか数種類出来立てです‼︎ https://t.co/ejowww0wFH
02-23 17:56

02/22のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : ポータブル校正機器 https://t.co/xZSVhJ0olc https://t.co/Rdu3EYnEdT
02-22 11:27

今日はネコの日?我が家は毎日ネコの日ですが^^; https://t.co/5JXEJKEE2j
02-22 08:13

02/21のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @kimio_kosaka: 真空管は設計通りに作れば設計通りの特性が出るので「工業製品」だがトランジスタは設計通り製造しても特性がバラつき,特性測って仕分けして出荷するので「農業製品」だよな,工学部出て農業するとは思わなかったわ〜 と自虐的に語った元NEC半導体事業部社…
02-21 12:06

02/19のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : オランダでの食事2日目 冬は鹿肉がシーズン https://t.co/adhJeqlm6l https://t.co/5hcAWjj0G3
02-19 23:56

RT @Hikoujima95: *焙煎出来立て情報・H28,2月19日*本日のお勧めは【 コロンビアシティロースト】です。バランスのとれた酸味と苦味をお楽しみいただけます。そのほか数種類出来立てです。 https://t.co/utkcOoxIvV
02-19 23:56

真・MFC千夜一夜物語 第206話 MFCの継手のお話 その8

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2016年2月号(1/25発売)で連載20回を迎えさせて頂きました。
今回はスイスからやってきた最新のCMOS流量センサーを搭載したMFC(マスフローコントローラー)であるSensirion社製品をDecoがパソコンで動かして遊んでみた少しライトな記事となっております。
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さて、MFCの継ぎ手のお話は前回からIGS(Integrated Gas System)で使用されている表面実装型(サーフェスマウントタイプ)=ダウンポートタイプのMFCのお話です。

IGSに使われているMFCは、従来の継手仕様のMFCとどう違うのでしょうか?
これはダウンポートタイプという言葉が示しているように、MFCやマスフローメーター(MFM)の流体出入口が下側にあるのが大きな特徴です。
下の写真で比較してみましょう。
160217_01.jpg

写真はITWジャパン株式会社さんから提供頂きました。
同じGFシリーズのMFCで違いは左側が1/4“VCR継手仕様、右が1.125”IGS対応ダウンポートタイプです。
ダウンポートタイプのガス入口&出口は底面にあるのでこの写真では見えませんが、並べてみれば一目瞭然ですね。

基本的に現在使用されているIGS用ダウンポートタイプMFC&MFMには大きく分けて2種類の形状があります。スタンダードサイズと言われるポート間寸法92mmピッチのものと、コンパクトサイズと言われる79.8mmピッチのものです。
それぞれをVCRタイプのものと対比して憶えておくとわかりやすいので、以前使った表を再掲載しておきます。

151102_01.jpg

IGS対応は更に奥行き寸法で1.5インチ仕様と1.125インチ仕様が存在します。
底面から見た図を見て頂くとわかりやすいと思います。

160217_02.jpg

こんなイメージです。
組み合わせとして4つあることになりますね。
IGS黎明期はUSが1.125“スタンダード、日本は1.5”コンパクトが多かったのですが、最近では1.125”コンパクトというサイズも存在しています。1.5“スタンダードというのも無いわけではないのですが、大きなものより小さなものが好まれるのはIGSのフットプリントを小さくするという思想からすると当然かもしれませんね?
でも、これだけではないのです。
更にIGSで重要になってくるのはシール方式という部分で、いくら1.125“スタンダードというサイズはクリアしていても、シール方式が異なれば取り付けることが出来ません。
そのお話は次回に。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

テーマ : ものづくり
ジャンル : ビジネス

02/14のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Hikoujima95: *焙煎出来立て情報・H28,2月13日*本日のお勧めは【 コロンビアシティロースト】です。酸味と苦味のバランスをお楽しみいただけます‼︎そのほか数種類出来立てです。 https://t.co/lNfPcRuJ1P
02-14 09:56

02/13のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Astro_Kimiya: 最近の週末やお休みを頂いた日は、日本のアニメを観て過ごしています。銀河鉄道999、シドニアの騎士、機動戦士ガンダム、宇宙兄弟等です。アメリカで買った物には、英語の音声や字幕も付いているので、言葉の勉強にもなるんです。宇宙に関連するアニメを作る…
02-13 05:55

パンテック バレンタインイベント!

取り上げるのが遅くなってしまいましたが・・・

160213_01.jpg

パンテックさんでは明日2/14までバレンタインイベント開催中です!

チョコに因んでチョコレート系のパンが値引きされてます!
と、今朝行って、チラシもらってきました(遅い!

EZ-Japan Deco

テーマ : 美味しくて、オススメ!
ジャンル : グルメ

02/10のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @kingjim: 【定期確認】 ✔スポーツジムではない✔キングダムでもない✔ムシキングでもない✔イデオンでもない✔ガンダムには出演してない✔事務の王様だったりする✔テプラは弊社の商標✔ファイルとテプラの \キングジム/
02-10 12:48

RT @hello_pantech: ビーフシチュー美味しそぉ(*´ч ` *)風が強く寒い日にイチオシです*(^o^)/* https://t.co/6zyRLMhiUx
02-10 12:47

RT @hello_pantech: バレンタイン恒例☆チョコの商品が20円お値引き♪大切な人に送るもよし、友達や家族に送るもよし、自分への御褒美にもオススメですよ♡お待してます(*´ω`*) https://t.co/OD5mYzWGvE
02-10 12:47

計測技術誌連載「マスフロー千夜一夜物語 <質量流量計の基礎>」バックナンバー

日本工業出版さんの「計測技術」誌の連載も現在発売中の2016年2月号で、はや20回を迎えました。
皆様にご愛読頂いているお陰でございます。
改めてこの場を借りして、厚く御礼申し上げます。

最近、出先や展示会でお目にかかった方々に「読んでますよ!」とお声がけを頂き、嬉しい限りです。
その席で「過去の連載ではどんな内容を書かれたのですか?」とか「MFC(マスフローコントローラ)の温度影響に関して書いてありますか?」というバックナンバーに対する質問を頂く事が増えましたので、今までの記事の内容を簡単にまとめてみました。

150210_01.jpg

バックナンバーは在庫があるかどうかは日本工業出版さんに問い合わせしてみて下さいね。
こういった内容を取り上げて欲しいという要望があれば、頂けると嬉しいです。

今後ともEZ-Japanブログ版「真・MFC千夜一夜物語」、そして計測技術誌連載版「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」を宜しくお願い致します。

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テーマ : ものづくり
ジャンル : ビジネス

02/09のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Hikoujima95: *焙煎出来立て情報・H28,2月9日*本日のお勧めは【 マンデリンフレンチ】です。独特な苦味をお楽しみいただけます‼︎そのほか数種類出来立てです。 https://t.co/Jg2DWN555i
02-09 16:36

RT @hello_pantech: ランチタイムです♪本日から期間限定で、ビーフシチューランチを始めました!昨年大好評でしたので...( *´︶`*)お待たせしましたが、是非楽しんでいただければと思います!! https://t.co/atbGTb1lXu
02-09 16:36

もう時効だから言いますと、マスフローのCF変動要因となるガス温度と圧力を補正する為、温度と圧力センサーを内蔵し、補正データを内蔵したMFCで特許を狙った事がありました。製品化するとはブロンコストはんはさすがですね。 https://t.co/oxzixZBwlZ
02-09 12:15

02/06のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

台湾の方々には、以前仕事でお世話になりました。身体を壊してからは、随分足が遠のいてしまいましたが、思い返せば楽しい思い出でした。帰省されていた方が多いこの時期での未明の大地震。一人でも多くの方の無事を祈っております。 https://t.co/DF4fzYcKHa
02-06 12:47

真・MFC千夜一夜物語 第205話 MFCの継手のお話 その7

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2016年2月号(1/25発売)で連載20回を迎えさせて頂きました。
今回はスイスからやってきた最新のCMOS流量センサーを搭載したMFC(マスフローコントローラー)であるSensirion社製品をDecoがパソコンで動かして遊んでみた少しライトな記事となっております。
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さてMFCの継手の話の7回目ですが、今回からIGS(Integrated Gas System)表面実装型(サーフェスマウントタイプ)で使用されるダウンポートタイプのMFCのお話に入りましょう。
えっ?それってなに?とおっしゃる方と、うちでは当たり前に使っているよ!とおっしゃる方に二分されるのがIGSかと思います。

160102_01.jpg

写真はフジキン(株)さんのカタログから引用させて頂きました。
興味を持たれた方は、フジキンさんのHP ”集積化ガスシステム”からDLしてみてくださいね。

写真を見ると固まり感がある、なかなかいかめしいブロック状のシステムですが、良く見ると見慣れた配管=パイプがほとんどない事に気がつかれると思います。
一般的な配管フローをIGSにした場合のイメージを以下の図で示します。
160102_02.jpg

配管と継手で二次元方向にバルブやレギュレーター、MFC等を繋いでいく手法に対して、IGSは配管に変わるベースブロックがあり、各機器は水平方向ではなく垂直方向にガスの出入り口(ダウンポート)を設けて、このブロック上に並べて行く形で設置されます。
サーフェスマウント(表面実装)という言葉がよくこの形態を表しています。
こうなると配管と継ぎ手が無くなる分短い距離で各機器を設置できることになりますね。
このIGSが効力を発揮するのは、半導体製造装置のような微少流量多系統のガス制御を行うガスパネルをデザインする場合です。

再びフジキンさんのカタログから引用させて頂きます。
(Decoの絵よりわかりやすいかと思いますので・・・)
160102_03.jpg

通常配管と継ぎ手で構成される4系統のガスパネルが上の絵です。
それに対してIGSにすることで、非常にフットプリントの小さな4系統ガスパネルが構成できる事がおわかり頂けるかと思います。
更にIGSの利点は、全ての機器を上方へ着脱することが出来るので、メンテナンスでの機器の交換が非常にやりやすくなるというものがあります。
半導体製造装置の腐食性の強いガスラインのメンテナンスでは、不具合修理のためのMFC交換作業がつきまといます。
通常の継手の場合、継手の脱着に狭いガスパネルの中へスパナを2本差し込まねばならず、更にドライバーでMFC自体をパネルに固定しているビスを緩めて抜かなければいけませんし、LOK継手のような食い込み継手の場合は、不具合機器の継手だけではなく周囲の機器の継手を緩めていく必要すらあります。
こういった面倒な作業を解消してくれる素晴らしいシステムがIGSなのですね。

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プロフィール

EZ-Japan(イージージャパン)代表 黒田 誠

Author:EZ-Japan(イージージャパン)代表 黒田 誠
MFC千夜一夜物語のDeco こと 黒田 誠 です。
2014年6月より流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”EZ-Japan(イージージャパン)として開業いたしました。

流体の流量・圧力・温度に関わる計測・制御技術の伝承と、新技術のご紹介を行うエバンジェリスト(伝道師)の仕事を生業といたしております。

日本工業出版さんの「計測技術」誌で”マスフロー千夜一夜物語”の連載を続けさせて頂いています。

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