01/30のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @hello_pantech: 2/6~14で、バレンタインイベントを開催します(((o(*゚▽゚*)o)))本日からクーポン付きのフライヤーを配布しておりますので、是非お越しください♪ https://t.co/dm00SrDvmi
01-30 15:28

01/28のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @hello_pantech: パンテックのオープン看板♪ https://t.co/4fV5fgMivF
01-28 18:43

真・MFC千夜一夜物語 第204話 MFCの継手のお話 その6

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2016年2月号(1/25発売)で連載20回を迎えさせて頂きました。
今回はスイスからやってきた最新のCMOS流量センサーを搭載したMFC(マスフローコントローラー)であるSensirion社製品をDecoがパソコンで動かして遊んでみた少しライトな記事となっております。
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さて、MFCの継手に関しての解説6回目です。
継手の仕様は口径と種類をしっかり把握しておかないと、用意したMFCが取り付けられないというトラブルに遭遇します。
では、それだけでよいのでしょうか?
それは違います。
忘れてはいけないのが、MFCとしての「面間寸法」です。
160127_01.jpg

折角継手口径、種類はあっていても(もちろんガス種、流量もですが)面間寸法124mmで設計された配管に152mmのものは取り付けられませんし、106mmのものもダメです。
MFC前後の配管を作り直すか、もしくはMFCに延長継手を付けるか、何らかの対策を取らなくてはいけません。

もう一つ気にしなくてはいけないのは「芯高」という寸法です。
これはMFCの底面と継手中心線との間の高さ寸法のことで、MFCだけではなくバルブでよく使われる言葉です。面間寸法と異なり、MFCメーカー間、もしくは同じメーカーでもモデル毎に異なっていることもあるので要注意です。
この寸法が異なっていたら、たとえ面間はあっていても継手を接続出来ませんし、無理矢理やったら確実にそこからガスリークが発生して大事故を招きます。
更に芯高で一番困りものなのは、最近の規格化されたMFCにはあまりありませんが、過去にあった特殊用途MFCや輸入品の一部ではガス入口と出口の継手芯高が異なるものがあるということです。
160127_02.jpg

これは面食らいますね。
不具合が生じて、お手元にあるMFCを代品として仕様仕様として、社内の予備品管理表を見ても、そんな細かいことまでは記載されていないでしょうから、いざ交換となって泣くことになります。
そういったMFCは前述の通り古いモデルが多いです。
やはりストックの実機確認、状態チェックは必要です。
あまり年月を経たものは新しいものへ代替しておく、「備えあれば憂い無し」的な管理をしていただけたらと思います。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

01/22のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

これは大変親切です。他のMFCメーカーさんも、こういったところは見習って欲しいですね。 https://t.co/wKCantKmWU
01-22 09:31

RT @rex_rental: 興研オープンクリーンベンチKOACHのレンタルをご紹介ヽ(・O・)/清浄度:ISO クラス1 / 全喚起時間:110秒(設定風速 0.4 m/sec時)移設、レイアウト変更が簡単(´ε` )♫https://t.co/D5olia7hr9
01-22 09:20

SEMICON Japan 2015(株)テムテック研究所ブース

年が明け、昨年の出来事になってしまいましたが、12/17-19 東京ビックサイトで開催されたSEMICON Japan のレポート第2弾です。
本ブログでもおなじみの 株式会社テムテック研究所(本社:東京都中央区月島2-7-13 代表取締役 相澤 満芳さん 以下 テムテックさん)のブースです。
160120_02.jpg
テムテックさんは圧力センサーを中心として「貴方の会社の開発室」をキャッチフレーズにユニークな製品開発行ってこられたメーカーさんです。
2016年は例年以上に新しい圧力センシング技術に力を入れた展示をされていました。

今回の大きく訴求されていた1つがIoT(INTERNET of THINGs)時代に対応したイーサーネットに連携可能なデジタル出力版(RS-485)及びUSBコネクタ接続タイプのHYZ DIGITALシリーズです。
半導体プロセスで高い信頼性評価を得てきた同社の圧力センサーをベースに小型ボディにマイコン(CPU、EEPROM、AD/DAコンバーター)を搭載しデジタル処理による温度補正でゼロ点への温度影響を低減し長期安定性能を向上させたシリーズです。
そのHYZシリーズの利点を最大限に活かすデジタル信号出力でのアプリケーション提案をされています。

圧力センサーの設置される位置は、ガスボンベのあるシリンダーキャビネット、そこからクリーンルームへガスを運ぶ配管系、装置のガスボックスの中と多岐に渡ります。
広い工場の中、圧力値を個々の表示パネルまで見に行くのは大変です。
現状確認の為の移動時間中にもトラブルが拡大してしまうかもしれません。
もっと個々の圧力値を一元管理したい!
ゼロ点調整を一気に全てのセンサーに対して行いたい!
突発的な不具合が生じた際にどこで、いつから、どんな圧力異常が生じているのかをリアルタイムで把握したい!
会議室にいてもそういった情報を手元のタブレットで表示させて、速やかに対応を取りたい!
このような要求に応えられるのが、Ethernetによりネットワークに対応できるデジタル圧力センサーのメリットです。
160120_01.jpg

次は新たに発表されたのBIMシリーズです。
これは昨年、計測技術5月号の小生がインタビューした中で、相澤社長がほのめかしておられたマイクロ圧力センサーです。
もちろんこちらもテムテックさんの主力技術となるデジタルセンサーです。
デジタルインターフェイスはI2CとSPIですし、なによりもこの大きさからして、機器組み込み用を強く意識されていると感じました。

Decoの得意分野であるMFC(マスフローコンローラ)では圧力センサーを搭載する動きが近年増えてきています。
例えばPI(Pressure Insensitive=圧力変動影響緩和)機能搭載モデルでのMFCの一次圧変動を測定する為であったり、ラミナーの前後の圧力を測定することで流量を導き出すラミナーフロー式マスフローが世に出てきたり・・・
こういった機器に組み込むにはデジタル信号で直接メインCPUへ情報を送るのが最短経路です。
アナログ信号できたものを本体側でAD変換して、温度補正、直線性補正をしなくても、全てBIMの中でレベルの高い補正処理を済ませた信号としてもらえれば、随分と楽になるはずです。
これはデジタル化された機器に対して大変親和性の高い製品であり、コンポーネントメーカーさんにとって朗報かと思えますね。

今回もテムテックさんブースでは、四国計測工業(株)さんの高効率熱交換器EXシリーズでの高温流体制御・計測アプリケーション展示でもお世話になりました。
テムテックさんには高温対応の圧力センサーSE800シリーズ 、同じく高温対応温度センサーSET100シリーズといったラインアップがあるので、大変心強いです。

最後に今回の取材でテムテックさんの相澤社長、皆様方に大変お世話になりました。
改めて御礼申し上げます。

【EZ-Japan ここでもう一押し!】by Deco EZ-Japan

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01/20のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

村田蔵六の浮世離れした専門バカっぷり、吉田松陰のひたすら純真な求道者っぷり、桂小五郎の一筋縄ではいかないくわせ者っぷり、高杉晋作の天衣無縫な革命児っぷり、こんなに配役が当を得たドラマはないなぁと思わせる大河ドラマの傑作「花神」。 https://t.co/dg8yREIvd7
01-20 13:16

https://t.co/aJF1zMGtAz 気前が良くて二枚目でちょいとやくざな遠山桜♪ 幼い頃に祖母とよく再放送を観てました。数年後には大河ドラマ花神を食い入りよう観てました。中村梅之助さんのような名優の演技を見る事ができたのは本当に幸せでした。ありがとうございました。
01-20 13:00

01/18のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @hayano: トヨタを嘲笑うテスラの強気 「水素社会など来ない」  :日本経済新聞 https://t.co/bLt84cFFEv
01-18 15:36

01/14のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : マスフローコントローラ用の指示設定器 https://t.co/Qlma3Z9ZAi https://t.co/BTL1T1iQno
01-14 17:10

RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : [動画紹介]サーマル式マスフローメータ・コントローラ動作原理 https://t.co/w6GFv1fzTX https://t.co/LvGRN8c8ve
01-14 17:09

RT @gizmodojapan: 「スタートレック」初代USSエンタープライズとそれを作った男たち https://t.co/XvzUJ9QX82 https://t.co/joN4XCF4sd
01-14 16:54

真・MFC千夜一夜物語 第203話 MFCの継手のお話 その5

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2016年1月号(12/25発売)で連載19回を迎えさせて頂きました。
今回はラミナーフロー式流量センサーを搭載したMFC(マスフローコントローラー)であるAlicat社の製品解説記事となっております。
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さて、MFCの継手に関しての解説5回目です。
MFCに使用する継手の主力メンバーのあらましは前回までにご説明しました。

継手は種類だけでなく、接続口径も重要な選定要素です。
1/4”RC継手と聞いて、1/4”Rネジの継手を用意していったら、1/2“RCだった等という事が現場で起きてしまうと嫌なものです。
大流量MFM(マスフローメータ)等は1/2”や3/8”等の大きな口径のRCネジを本体に切ってあります。
ですが、ユーザーが常用する配管径は1/4インチというのが結構多く、確かにこの径なら圧力を掛ければ20L/min程度の窒素ならば流れてしまうのですが、かたやマスフローメーカーが世に出す中大流量用のモデルは当然余裕のある大きめの配管径で使われる事を想定しているので、先の事例のような事はありがちなのですね。

そういった場合、1/2”RCに接続して(つまり自身は1/2“Rのオスネジを持ち)1/4”RCに変換するような異径変換継手が必要な場合があります。
焦らなくてもこういった継手は、結構豊富に揃っているので、組み合わせることで簡単に対応できます。(下図上)
160112_01.jpg
ですが、MFMの性能をクリティカルなところで発揮させなければ行けない用途の場合、こういったMFMのガス入口、出口の口径を急激に絞るようなやり方は、あまりお薦めできません。

以前、大流量MFMのお話でご説明したようにMFC、MFMに流入する流体は層流状態であることが前提です。
mL/minやSCCMオーダーならまだいいのですが、それなりの流量が流れ込んでくる場合、配管径の急激に変わるポイントや、エルボー等の曲げ部で流速に変化が生じ、それにより乱流が生じます。
MFCは自身に流量制御バルブを持っているのでオリフィスがあって流量を絞るからまだ良いのですが、MFMの場合は大きな配管抵抗になるパーツがないので、入口側だけでなく、出口側の配管径の変化にも敏感な性質を持っています。
センサー方式が巻線センサーの分流式の場合は、層流素子とセンサーチューブとの分流比が崩れる事で、またMEMSセンサー方式の場合、センサーが設置される壁面付近の流れに乱れが生じる事で、流量異常(メーカーで校正した値と測定値がずれる)を起こします。
MFCでも100SLM以上になってきますと、出口側の口径が断続的に変化して、ガスがたまるような部位があるとソレノイドバルブの流量制御に悪影響を及ぼす(二次圧力変動影響)現象も生じる事があります。

ですから各マスフローメーカーは、設置の際に入口出口に配管径の5倍から10倍の直管部を設けてもらうよう取扱説明書に記載している事が多いです。
上図下にあるように曲がりのなく配管径も一定の直管部をマスフローに取り付けることでより正確な流量測定が行えます。
お使いのMFMがどうもメーカーの検査成績書通りの性能を発揮していないなぁとか、指示値通りなのにプロセス結果に問題が生じていると考えられる場合は、一度この継手周りを確認してみてください。
継手はどれを選んでも良いマスフローなのですが、実は流量が増えてくると配管径に関してはナーバスな部分が見えてくるというお話でした。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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01/08のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @hello_pantech: ☆おしらせ☆日頃よりパンテックをご利用頂き、ありがとうございます!1月11日(月・祝)を臨時営業とし、1月12日(火)を振替休日とさせて頂きます。誠に恐れ入りますが、今後ともパンテックを何卒、宜しくお願い致します。 https:/…
01-08 21:47

01/06のツイートまとめ

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RT @hello_pantech: 新しい塗り絵です(*´ω`*)サルさんがパンを持っててなんとも可愛らしい('∀`)初塗り絵いかがでしょうか( ´^ω゜)? https://t.co/OKjCuYIcAP
01-06 09:39

01/05のツイートまとめ

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RT @BronkhorstJP: ブロンコスト/マスフローのblog : クリスマスギフト https://t.co/q7tgEwV2Oc https://t.co/KjDgDQgoDy
01-05 15:29

RT @pc_watch: オーディオアンプのMarshallが手がけたスマートフォン「London」~オーディオファン向けのこだわりがちりばめられた製品 https://t.co/xSwY2dU6uU https://t.co/u2jvtTgx70
01-05 15:28

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RT @hello_pantech: 皆様、明けましておめでとうございます。今年もどうぞ、よろしくお願い致します󾀀本日から営業開始です(*`・ω・*) https://t.co/J5QJ9JF3zW
01-04 15:46

RT @hello_pantech: お陰様で、毎年恒例の福袋も先ほど完売致しました(^ω^)快晴の中での初売りで、気持ちの良いスタートをきりました!明日からランチも始まりますので、是非お気軽にいらしてください♪ https://t.co/Ik8b12CYfC
01-04 15:46

真・MFC千夜一夜物語 第202話 MFCの継手のお話 その4

新年明けましておめでとうございます。
昨年は色んなお客様と名刺交換させて頂いた際に、名刺のブログ名を見て「ブログ読んでいますよ!」とお声を掛けて頂ける機会が非常に増えました。
200回超の駄文の書き連ねでありながら大変ありがたい事で、うれしさで面談後に一人でニマニマしておりました。

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2016年1月号(12/25発売)で連載19回を迎えさせて頂きました。
今回はラミナーフロー式流量センサーを搭載したMFC(マスフローコントローラー)であるAlicat社の製品解説記事となっております。
併せて宜しくお願い致します。
2016年も本ブログとEZ-Japanを宜しくお願い申し上げます。

さて、MFCの継手に関しての解説4回目です。
一般的な継手3種=VCR、LOK継手(食い込み継ぎ手、RCネジに関して説明して参りました。日本国内で使用されているダウンポートタイプ以外のMFCはこの3種がほとんどです。

ただ、古い装置に搭載されたMFCの場合、これ以外にVCO継手が使用されているものもあります。
この継手は名前からわかるようにVCR継手の親戚のような継手で、特長はVCRがメタルガスケットを使用しているのに対して、エラストマー(弾性のある樹脂=ゴム)Oリングを使っているところです。
160104_01.jpg

上図はまたまたSwagelok社のカタログから引用しました。(毎度すいません。)
詳細を確認されたい方は、こちらのURL でダウンロードされるか、スエジロック・ジャパン社に直接確認されることをお奨めします。

非常にシンプルな構造で、使用するOリングがエラストマーなので、耐腐食性とリークレートが問題無いような配管系ならば取扱いが容易でDeco個人としてはお気に入りの継手です。

ただ、メタルガスケットを使用して高レベルのリーク性能を持つVCRがあることと、溶接不要で汎用性の高いLOK継手に挟まれて、どっちつかずな所から需要が減少したのではないでしょうか?

Decoがデビューした頃は、4インチや5インチのウエハー製造ラインの成膜装置にはよく使われていて、お客様もVCRとVCOを間違えてMFCを手配されたり、受けた営業マンも混乱してしまった事があったようですが・・・もはや昔の話ですね。

Decoはへそ曲がりなので、個人的には車に乗るにもずっとマイナーメーカーのスバルに乗っていたりするのですが、こと産業機器の継手や通信等の規格選定に関しては、その時代の主流になるフォーマットを選択するのが吉かと考えています。
やはり数年後にメンテナンスが必要になった際に、レアな存在になってしまって入手に時間がかかるものや、製造対応が難しいものは避けた方がよいでしょう。
と、言っても振り返ってみた結果論に過ぎないところもあるのは事実で、なかなか先を見通すというのは難しいものですね。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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01/03のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Astro_Kimiya: 私も人間ですから、興味の無いことや辛いことを長い間続けるのは困難です。何度も失敗した上でたどり着いたのが「まず、好きになる方法を考える」と言う事でした。この方法は私にあっている様です。お陰で、何年でも続けられる様になりました。お正月に目標を決…
01-03 12:09

01/02のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

親戚で年賀に持って行った黒龍大吟醸 龍 でほろ酔い気分。いい酒は美味い!ありがとうございました!
01-02 23:23

01/01のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

明けましておめでとう御座います。本年も、宜しくお願いいたします。 https://t.co/mDIgOc1EHX
01-01 00:17

12/31のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Yam_eye: 胸熱!#原子番号113新元素の名前 RT @Ichiba_Obachan: @ForcebewithUs 設定上は、原子番号133だけど、「スペシウム」って付けてくれたら、ウルトラマン世代は嬉しいデス。
12-31 16:09

RT @RIKEN_JP: プレスリリース|113番元素の命名権獲得-元素周期表にアジア初、日本発の元素が加わる- https://t.co/eTGfq1h1Mr #理研 #press
12-31 16:08

プロフィール

EZ-Japan(イージージャパン)代表 黒田 誠

Author:EZ-Japan(イージージャパン)代表 黒田 誠
MFC千夜一夜物語のDeco こと 黒田 誠 です。
2014年6月より流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”EZ-Japan(イージージャパン)として開業いたしました。

流体の流量・圧力・温度に関わる計測・制御技術の伝承と、新技術のご紹介を行うエバンジェリスト(伝道師)の仕事を生業といたしております。

日本工業出版さんの「計測技術」誌で”マスフロー千夜一夜物語”の連載を続けさせて頂いています。

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