真・MFC千夜一夜物語 第200話 DecoとMFC~連載200回を迎えて

日本工業出版さんの「計測技術」誌での「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年11月号で18回目を迎えさせて頂きました。
今月の12月号では特集の関係でお休みとなり、次回2016年1月号からまた連載再開となりますので、宜しくお願いします。

さて、このMFC千夜一夜物語も200回目を迎えることができました。
これもひとえにお読み頂いている皆様のお陰と思っております。
改めて御礼申し上げます。
ということで、少しいつものMFCの技術話からは脱線して、Decoのお話をさせて頂きます。

思えば最初に“MFC千夜一夜物語”というタイトルを思いついた時、「MFC(マスフローコントローラー)をネタにして1001回も書けるのかな?」という心の声が聞こえてきたものでした。
というのもDecoにとって、MFCはそもそも得意でも専門分野でも無い物だからです。

これをお客様の前でお話しすると、皆さん驚かれますが、Decoは文系の経営学部出身です。
子供の頃から得意な科目は、歴史、特に日本史です。
ほんとうは日本史の学者になりたかったのです。
ですから流体工学の勉強等は何もせずに業界に入りました。
入って見ると電気、通信、機械が同居し、化学、物理の知識が入り乱れるとんでもない世界だったのです。
「これはわからん・・・」
と最初にお世話になったMFCメーカーである(株)リンテックさんで、新任者向けレクチャーが終わった時、頭の中はこの言葉でいっぱいでした。
それまでDecoは新卒で音響映像メーカーに入り、ファイバースコープメーカーに転身して、そこまでは映像の仕事だったわけで、生粋のオーディオ好きだった事もあり、得意な分野で仕事をしてきたのです。
ところが、色々な事情で三度目の転職になったこともあり、ここでがんばらないといけないという決意しか無く・・・しかし、目の前にはお弁当箱に手が生えたようなMFCがあり・・・

そこから数日で、いきなりお客様に営業に出かけたのですが、そこで今思い出しても恥ずかしくなるミスをしてしまいます。
そちらは液晶工場さんだったのですが、その頃は半導体と液晶で使うガスが違うなどと言うところまで思慮が及んでいません。
いきなりとんちんかんな「WF6ガスが液化しにくいバルブ構造が利点です。」等とエンジニアの方に説明を始めてしまい、「液晶でWF6ガスなんか使うか!バカ野郎!!」と、まさに鎧袖一触で終わってしまったのです。

車で高速を使って3時間ほど掛けてたどり着いたお客様の面談は、数分で撃沈でした。
帰りの車中で見た夕焼けが哀しい色をしていたのを今でも憶えています。
「だめだ。やっぱ憶えることが多すぎる。しかも、参考書は、会社のPR資料しかない。そこには半導体で使うガスと液晶が違うなんて書いてないし、どこで勉強したらいいのだろう。こんなマイナーな商品。」と、車中で途方に暮れていました。

他の職を探すか、やはりオーディオ&ビデオ関係に戻ろうかと思っていた時、自宅で休日に父親と話す機会があり、今の仕事内容を話したところ、「ほう、お前がバルブを売っているとはなぁ。」と言われたのです。
父は造船業華やかな頃、船に積まれるバルブを作る工場(「こうじょう」ではなく「こうば」と呼んで下さい。)の設計者でした。
家には左利きの父専用のドラフターがあり、それは当時なかなか無いものだったようですが、最初Decoには人の腰ぐらいまであるような父の会社にあったバルブと、自分が悩んでいたMFCが同じ“バルブ”には到底思えなかったのですが、確かに流れを制御するバルブという点では同じでした。
そこで、「そうだよ、別にMFCの本が無くてもバルブのことはどこかに本があるだろう。センサーの事が書いて無くても、流量計の本はあるかもしれないし、無くても流体の本はある。まして半導体なんてNHKで特集もされたし、色々な知識の源は周りにゴロゴロあるじゃないか!」と、思えたのが、その後MFCの仕事を四半世紀も続ける事ができた原動力だったのかもしれません。

この物語を書き始めたのも、「MFCの事なんてどこで調べればいいの?」というあの時の自分の思いと、お世話になった上司=師匠が「新人でもわかるMFCの本を出せたらと思っている。」と門前仲町の呑み屋でおっしゃっていたのを憶えていたからでした。
そして、脳梗塞で左半身が麻痺して、仕事も無くし、再起不能になるかと思った自分が復活できたのも、第1部135話を真・MFC千夜一夜物語として再編集作して個人ブログにアップし始めたからでした。
それがご縁でお仕事を頂けたり、計測技術誌に連載を持たせて頂いたり、一時は大変苦労してボロボロになり、MFCというものは疫病神かと思った頃もありましたが、やはりこうやって書いてきて良かったと思っています。

まだまだ勉強の足らないところは色々ありますが、これからもこの物語を書き紡いでいくつもりです。
1001話まで本当に到達したら、自分でもさすがにこの人すごいなぁ、と褒めるようにしますね。
読者の皆様には、今後も宜しくお願い致します。

追記)
Decoが怒られたエンジニアさんは、その後も顔を見ると「おい、少しはちゃんと説明できるようになったか?」と声掛けしてもらったりしました。
こんな方が各半導体メーカーの工場には、必ず一人は居られました。
「この方を納得させない限り、ここではMFCを使ってもらえないよ!」というMFCのスペシャリスト的な存在の方々。
「俺の前で最後までMFCのプレゼンをできた営業マンは片手の指で数えるしかいない。つまらなかったら帰らせるから。」と豪語されてたキーマンの方もおられます。
(えっ?Decoは成功させましたよ。しかも2回。マスフローマイスターは伊達じゃありません。)
皆さんが新人時代のDecoの大切な師匠でした。
自分の会社の人間でもない若造を、面談の度に鍛えて頂きました。
皆さんへ感謝の気持ちを、この物語に載せて後に続く人達に伝えたいと思っています。
ありがとうございます!

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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11-22 19:53

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11-22 19:49

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Kuroda_EZJ

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11-19 11:44

真・MFC千夜一夜物語 第199話 MFCの継手のお話 その2

日本工業出版さんの「計測技術」誌での「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年11月号で18回目を迎えさせて頂きました。
皆様、ありがとうございます。
(12月号はまた特集ページの関係で休載のようです。)

さて、MFC(マスフローコントローラ)の継手のお話です。
MFCにガスを供給する為にはガスボンベやコンプレッサーから送られた流体を調圧器(レギュレーター)が圧力を落としたものを接続してやる必要があります。
流量制御したガスを下流の反応炉(チャンバー)に送る為にも配管で接続する必要があります。
四角いお弁当箱みたいなMFCの両端に出ているのが継手なのですね。

MFCの継手には色んな種類のものがあります。
実験室から生産ラインまで、真空から高圧配管まで、世界的に幅広く使われているのが、SWLタイプです。

SWLという略称をMFC関係者ではよく使いますが、Swagelok継手のことです。
前回も登場したSwagelok社のチューブ継手ですね。
これも大人の事情で、Swagelok社以外のメーカー(フジキンさん、イハラサイエンスさん、バリューインパクトさんの扱う韓国のDK-Lok等々)が生産して、市場に提供しているSWL継手もあります。
権利上、“Compression Fittings=食い込み継ぎ手“とするべきなのでしょうが、日本ではどうしても”スエジ“という言い方で表現される方が多いのが現実です。
最近、Decoは“Lok継手“というこれまた少し玉虫色な表現をしたりしています。

この継手は、食い込み型という名前の通り、配管チューブに食い込むことで接続する継手です。
綺麗に90度で切断し、バリを取り除いた金属チューブを口径にあったSWL継手に差し込み、ナットを所定の回転(1/4インチの場合1+1/4回転)させることで機密性能の高い接続が可能になります。
151119_01.jpg

上図はまたSwagelok社のカタログから引用しました。
(継手の構造は文章でいくら説明しても難解になるだけなので、助かります。)
詳細を確認されたい方は、こちらのURL でダウンロードされるか、スエジロック・ジャパン社に直接確認されることをお奨めします。

フロントとバック、2つのフェルールが役割分担して継手内面に密着しつつチューブに食い込んでいるのがわかると思います。
このシンプルな構造で締め付け作業を簡単に行える仕組みがこの継手を世界のベストセラーに仕立てたのですね。
MFCとはMFCが誕生した頃の、エラストマーシールを用いた世代からの長いお付き合いです。
さすがにVCR継手にあわせて、MFCもメタルシール化したあたりからは、半導体産業向けでは主力継手ではなくなっていますが、その他の一般工業分野ではバリバリの主力継手です。

Decoの経験からいくと、SWL継手で初心者がよくやってしまう間違いは。“締め込み過ぎ”です。
1+1/4回転と思っていても、そこからまだナットは締まっていくので、ついつい頑張って回してしまってDeco(新人時代)も職人さんに怒られたことがあります。
逆効果でガスが漏たり、フロントフェルールが継手内部に圧着してしまったりして、いいことは何もありませんから、注意しましょう。
151119_02.jpg

あと上図にありますように、MFCでは本体側も前述のエラストマーシールになっており、ボディに9/16-18UNFのネジが切手あり、継手をOリングシールして固定しているものが多いです。
メタルシールモデルですとSWL継手をわざわざフランジに溶接したりしてコストが掛かってしまいますから・・・
SWL継手を着脱するとき、このUNFネジ部分が共回りしないように、しっかりスパナで固定して作業を行いましょう。
継手はしっかり止めてあるのに、思わぬところでMFC側のUNFネジからリークが・・・という事が実際起きていますので。

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RT @gizmodojapan: 日本では今日から販売開始されたApple SIMはこんな感じです。ただのSIMカードと言えばそれまでですが、アップルロゴが入ってます。 https://t.co/XbswENBQ7m
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真・MFC千夜一夜物語 第198話 MFCの継手のお話 その1

日本工業出版さんの「計測技術」誌での「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年11月号で18回目を迎えさせて頂きました。
皆様、ありがとうございます。

さて、今回からMFC(マスフローコントローラ)の継手のお話です。
継手は読んで字のごとく「継ぐ手」です。
MFC自体がスタンドアロンで使用できる機器ではなく、配管システムの部品の一つ、つまり流体制御という舞台に立つ1プレイヤーに過ぎない事は、この連載でも何度かお話ししてきました。
上流のガスボンベやコンプレッサーから送られた流体を調圧器(レギュレーター)が圧力を落としたり、三方弁が分流したりしてものを、流量制御して下流の反応炉(チャンバー)に送る為には、流体の流路がしっかり繋がっていなくてはいけません。
その役割を果たすのが継手(Fitting)です。

MFCの継手には色んな種類のものがあります。
一般的なものはVCRタイプ、SWLタイプ、RCタイプ等があります。
個々に見ていきましょう。

VCRという呼称は、一般的によく使われているのですが、本来はVCR®と表記される元々はCajonという会社の商品名で、現在はSwagelok社の商標です。
メタルガスケット式面シールタイプの継手の代表選手なのですが、他社さんですと例えばフジキンさんだとUJRという同等品があったりします。
ここら辺のところは大人の事情と言うことで、詳しくは各継手メーカーさんにお訊ね下さいね。

151109_01.jpg

注意)上図はSwagelok社のカタログから引用しました。
詳細を確認されたい方は、こちらのURL でダウンロードされるか、スエジロック・ジャパン社に直接確認されることをお奨めします。


さてこのVCRタイプはメタルガスケットを押しつぶしてシールする方式ですので、微細な隙間で漏れてしまったり、Oリングシールの樹脂の分子間をすり抜けてしまう水素やヘリウムのようなガスも漏らしません。
故に半導体プロセスガスのように毒性や燃焼性のあるガスラインでよく使われます。

この継手のよいところは、内部にガスだまりが少なく、リークチェックもナット部のポートを使って容易にできることもあるのですが、なによりMFCにとってありがたいのは、食い込み継手と違って、最小限のクリアランスで設置ができるため、着脱が容易なところです。

151109_02.jpg

ガスケットを介してオス、メスの接合をする継手の構造上、食い込み継手のように引っ張り抜かなくても良いので、MFCに何か不具合があった場合も、MFCの上流下流のナットだけを緩めて、MFC本体を上方に引っ張り出す事が可能です。
MFCを抜くためにわざわざ周囲の配管機器のナットまで緩める手間も掛かりません。

その代わりこの継手を使う配管を組む場合は、配管のプロに依頼しないとダメです。
公差をきっちり抑え固定した配管でないとメタルガスケットが正面からちゃんと潰されずに、結果としてリークしてしまうことになり、メタルガスケットでリーク性能がいい筈のVCRタイプにした意味が無くなってしまうのです。
前回、「面間寸法124mmや106mmに気をつけて下さいね」と申し上げたのは、これが123mmの不良MFCがあったとして、それを取り付けようとしてもアウトだからなのです。
逆に面間寸法を125mmで配管の方を誤って設計製作してしまってもダメです。
*VCR配管のプロをお探しでしたらご一報下さい。御紹介します。


ですからこの継手は実験用にちょっとMFCを繋いで・・・という用途には不向きなのですね。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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11/07のツイートまとめ

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RT @nikkei: 展示会、五輪で困った モーターショーなど施設使えず https://t.co/8qqnZ7zJRB
11-07 13:00

11/06のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @gizmodojapan: 日本でもドローン配達が早くて3年以内に始まります! https://t.co/eOd5e8ibeU https://t.co/fGCT7yPfCg
11-06 15:51

RT @BronkhorstJP: [動画紹介]新製品、EL-FLOW Prestigeの機構についてご紹介します。https://t.co/FxPDJGQEYk
11-06 15:50

RT @hello_pantech: カナンの食パンのミミもご用意しております(っ´ω`c)!揚げて、お砂糖をまぶしておやつにしたり、冷凍して、パン粉にしたり...色んなお召し上がり方が楽しめるかと思います(*´ω`*) https://t.co/suFeXuHvOc
11-06 15:49

RT @hello_pantech: こんにちは♪朝から晴天で何よりです(*`・ω・´)本日のおすすめは、カナン牧場さんのバターロールです!ハムとチーズを挟んで、オーブントースターで温めて食べるととっても美味しいですよ(っ´ω`c)!朝食にちょうどいいパンです☆ http…
11-06 15:49

11/03のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @hello_pantech: 本日は近隣の小学校のバザーに出店させていただいております(^ω^)!パンテックのパンがたくさんの方の手に渡っていると思うと、とっても嬉しいです(﹡ˆ﹀ˆ﹡)一般の方も入場できるそうなので、是非足を運んでみてはいかがでしょうか? http…
11-03 18:58

RT @hello_pantech: 月が変わりましたので、パンコをクリスマスバージョンにしました(っ´ω`c)なんとも可愛らしい゚+.゚(´▽`人)゚+.゚ https://t.co/QQKg8fQQGy
11-03 18:57

RT @BronkhorstJP: 電源付デジタル指示設定器"E-8000"の日本語版カタログを追加しました。https://t.co/ElqwSlxst5
11-03 07:40

RT @BronkhorstJP: 新製品"EL-FLOW Prestige"の日本語版カタログを追加しました。https://t.co/pWTl13UAAk
11-03 07:40

RT @BronkhorstJP: サーマルマスフローメータ・コントローラ"EL-FLOW"の日本語版カタログを追加しました。https://t.co/Rx44SliLdj
11-03 07:40

RT @BronkhorstJP: 微小流量向けコリオリ式マスフロー"mini CORI-FLOW"の日本語版カタログを更新しました。https://t.co/OA63YEIrDY
11-03 07:37

RT @Astro_Kimiya: 早朝、朝日を浴びて輝く富士山。15周年の節目に、こんな素晴らしい景色を見る事が出来て、私はとても幸せです。その幸せを、皆さんにも一緒に感じて欲しくて、この写真を撮りました。撮りたてで~す(笑)。 https://t.co/JRQKM0eu96
11-03 07:36

RT @Astro_Kimiya: ISSに人が住み始めてから15年が経ちました。その節目に、宇宙ステーションに滞在している事は、本当に光栄です!今後も続く、国際協力による宇宙への挑戦。地球上の皆さんのお手本になるように頑張ります!#15YearsOnStation https…
11-03 07:36

11/02のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @Yam_eye: 「それぞれの技術についてはもっと詳しい人がいるかもしれないが、この製品の価値を一番よくわかっているのは自分だ」と思える程度にはgrok(共感して完全に理解)しないとね。 https://t.co/ozQMM9xJhU
11-02 08:12

RT @Astro_Kimiya: 日の出前に並んで輝く金星と木星。金星の横には、火星も見えますね。木星と金星の線上に離れて輝く1等星がレグルスです。でも、今日の主役は彼らではありません。金星と木星の間、少し地球側の4等星。しし座の’ししまい’と言う星。いい名前ですね http…
11-02 07:47

真・MFC千夜一夜物語 第197話 MFCで使う用語のお話 その14

日本工業出版さんの「計測技術」誌での「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年11月号で18回目を迎えさせて頂きました。皆様、ありがとうございます。
さて、初心者の方向けとして、そしてMFC(マスフローコントローラ)に少し慣れた方にも、常用する語句の定義確認の為に、カタログの仕様表でよく見掛ける語句を解説とを続けてきた「MFCで使う用語のお話」も14回目の今回で一区切りです。

・寸法(面間寸法、ポート間寸法)

 寸法に関して、各MFCメーカーのカタログ・データシートに必ず外形図面が掲載されています。
MFCのような配管機器の一部品である限り、設計される方々にとって寸法は非常に重要な寸法です。
また、ユーザーの立場からしても、現在使用しているMFCの更新を考える際に、既存のMFCから置き換えができるかどうかの検討を行う際には、絶対避けては通れない仕様になります。
いくら性能が良くても、いくら安くても、既存の配管システムにそのまま取り付けできないとなったら意味がありません。
MFC側の寸法が諸事情で譲れない場合、配管システムの改造を行わなくてはならず、安く買ったMFCでも、改造費を入れたら実は高い買い物であったとなりかねません。

寸法はW(幅)、H(高さ)、D(奥行き)の三要素になります。
このいずれも注意しなくてはいけない要素です。
その中で一番注意しなくてはいけないのはW寸法、特に面間寸法もしくはポート間寸法と呼ばれる寸法の確認には細心の注意が必要です。
以下の図を見て下さい。

151102_01.jpg

大別すると面間寸法は、通常の継手タイプのMFCの入口端と出口端の間の寸法を指します。
ポート間寸法は、IGS(Integrated Gas System)で使用される表面実装型(ダウンポートタイプ)のMFCの入口/出口ポートの中心点を結んだ寸法のことです。
現在のMFCはスタンダードサイズとコンパクトサイズがあります。
だからといって図のような2方式×2種類=4つの寸法フォーマットのみかと勘違いしてはいけません。
ここにはまだ重要な要素が抜けています。

通常継手タイプで、図ではVCRタイプの例を示しましたが、継手には他にもVCO、SWL(食い込み継手)、RC(昔の表記でPTメスネジ)等の継手種に加えて、個々の継手種毎に図にある1/4インチだけでなく3/8インチや1/2インチ、6mm等の配管口径による継手形状の変化からの面間寸法の差が存在しているのです。
また、表面実装型(ダウンポートタイプ)の場合、IGSで採用されているシール方式(継手種類みたいなものですね。)とサイズが存在します。このサイズというのは配管径とは異なり、MFCのD寸法で1.5インチと1.125インチがあります。

シール形状?1.5インチ?よくわからなくなってきませんか?
Decoも今回の説明だけで、全ておわかり頂けるとは思っていません。
まずは「MFCを選ぶ際の注意点として、こういうポイントがあるのか!」と言うことをおわかり頂いた上で、次回からMFCの継手、IGS対応の詳しいお話に入りたいと思います。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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プロフィール

EZ-Japan(イージージャパン)代表 黒田 誠

Author:EZ-Japan(イージージャパン)代表 黒田 誠
MFC千夜一夜物語のDeco こと 黒田 誠 です。
2014年6月より流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”EZ-Japan(イージージャパン)として開業いたしました。

流体の流量・圧力・温度に関わる計測・制御技術の伝承と、新技術のご紹介を行うエバンジェリスト(伝道師)の仕事を生業といたしております。

日本工業出版さんの「計測技術」誌で”マスフロー千夜一夜物語”の連載を続けさせて頂いています。

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