計測技術 5月号 マスフロー千夜一夜物語 “(株)テムテック研究所 相澤社長インタビュー“

今回のEZ-Japan ここでもう一押し!のコーナーは、手前味噌で恐縮なのですが、Decoが毎月連載をさせて頂いている日本工業出版さんの計測技術2015年5月号(4/25発売)の記事「マスフロー千夜一夜物語 質量流量計の基礎 第14回」で取り上げさせて頂いた株式会社テムテック研究所(本社:東京都中央区月島2-7-13 )代表取締役 相澤 満芳さんのインタビュー記事の宣伝です。

 (株)テムテック研究所(以下テムテックさん)は、このブログでも常連ですからご存じかと思います。
圧力センサーを中心に、「貴方の会社の開発室」をキャッチフレーズにユニークな製品開発を進めておられる独自の存在感を持つメーカーさんで、既にDecoとも15年以上のお付き合いなのですが、今回のインタビューでは、改めて自らがまだまだ見識不足だったと恥じ入ったくらいに色んな事を相澤社長に教わりました。

 テムテックさんは巷では半導体製造装置、周辺設備での圧力センサーメーカーとしてポジショニングされていますが、そういったイメージだけでは判断できない、今までの同社の歩みと開発ポリシー、そしてこれから注力する流体計測センサー技術にフォーカスさせて頂いています。

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写真右 (株)テムテック研究所 代表取締役 相澤満芳さん、 左 同社 取締役 執行役員 営業グループ長 山田純明さん


 半導体製造産業の黎明期から活躍してこられた相澤社長のお話には、「なるほど!ここでターニングポイントがあって、テムテックさんの開発されたセンサーがゲームチェンジャーとなっていたのだな・・・」と感銘を受けたり、Decoもお気に入りの「貴方の会社の開発室」という同社のキャッチフレーズに込められた、常に顧客が必要とする技術命題にまっすぐ向き合う情熱的なアプローチ、そしてMEMS技術で作られたコリオリ式流量計”MS-LFV”という質量流量計のエポックとなる製品との出逢いがもたらす流量センサーという新たなムーブメント・・・

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盛りだくさんな内容になっていますので、計測技術5月号 「マスフロー千夜一夜物語 質量流量計の基礎 第14回」を是非ご一読ください。

【EZ-Japan ここでもう一押し!】by Deco EZ-Japan

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04/27のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @nikkei: 東エレク、今期の純利益10%増予想 半導体装置が好調 http://t.co/5qQ9nBxBvT
04-27 16:21

RT @nikkei: キヤノン、今期の純利益予想下振れ ユーロ安重荷 http://t.co/RBdpoUYv5C
04-27 16:21

日本工業出版 計測技術5月号連載”マスフロー千夜一夜物語”では、いつもの連載とは打って変わって(株)テムテック研究所 相澤社長のインタビューを掲載しております。”あなたの会社の開発室”という言葉に込められた想い、産業用センサーへの情熱と、それを支えるクラフトマンシップ。ご一読を!
04-27 11:43

04/23のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @busuizu: クトゥルー活劇「ウィップアーウィル」第12話その2を投稿。食わせ物同士の腹の探り合いです。そしてクトゥルフ世界最強の魔術師が敵として現れることになります。 閲覧が欲しい、ブクマが足りない。よろしくお願いいたします。http://t.co/Sc6ydk
04-23 08:30

04/22のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @BronkhorstJP: マスフローのblog : 圧力コントローラ その② http://t.co/xI6qQBXz94 http://t.co/kCTw0wHCS4
04-22 09:13

RT @BronkhorstJP: マスフローのblog : 圧力コントローラシリーズ① http://t.co/NrvvhOrHuY http://t.co/FdGqTWCr1b
04-22 09:13

RT @BronkhorstJP: マスフローのblog : 圧力コントローラ その③ http://t.co/KZIxwD2TXC http://t.co/SdMayXzioM
04-22 09:12

センシリオン 輸液 液体流量センサー @MEDTEC Japan 2015

今回のEZ-Japan ここでもう一押し!で取り上げるのは、以前我が家の赤ちゃんネコを育てる際にCMOS温湿度センサーを使用したお話に登場して頂いたスイスのユニークなCMOSセンサーメーカーのセンシリオン株式会社さんです。

今回、2015/4/22(水)~4/24(金)に東京ビックサイトで行われるMEDTEC Japan ブースNo. 4511 (東6ホール)に出展されます。

MEDTECというのはDecoの関わっていた半導体産業とはまた異なる、医療機器の設計・製造分野をフォーカスした展示会だそうです。
医療機器業界というのは実はマスフロー業界とはあまりご縁がない業界です。
人の生死に関わるリスクを採るという決断は企業として大変な事だからです。
マスフロー、特にMFC(マスフローコントローラ)は、産業機器分野なのですね。

で、どういった展示をされるかを聞いたところ・・・このカタログを頂きました。

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医療用チューブ使い捨て液体流量センサー と書いてあります。
「えっ!使い捨てにしちゃうの?流量センサーを!!」と驚くのは、やはりDecoが門外漢の故でしょうか?
よく考えれば人体に注入する訳ですから、一度別の人に使ったチューブを、また別の人に使い回す訳にはいかないのです。
とはいえ温湿度センサーと同じCMOSチップ化した流量センサーでしょうが、これを使い捨てとは・・・

だからといって性能は決して劣ったものではなく、μl/hレベルの微少流量を検知可能。
しかも、双方向、つまり逆流も測れます。そして、40msecの高速応答性能。
当然CMOSセンサーは液体に非接触、不活性な材料で流路を構成して汚染を防止。
おまけにチューブが外れて液が漏れ出てしまった場合=フリーフローや、チューブが折れ曲がって流れが止まった状態も検出させる事が可能とのことです。

確かにセンシリオンさんの液体センサーは、熱式でありながら石英ガラスや石英流路の外壁に取り付けて、非接触で流量を測れる優れものですから、こういった説明も頷けます。
そして、ここまで来て、「待てよ、CMOS温湿度センサーはバッテリー駆動だったよね・・・」と、猫たちの可愛かった幼少の頃の記憶と共に思い出したDecoとしては、これは確認してみなくては!と思いました。
「今のところ外部からの電源供給ですよ。」というセンシリオンさんからの回答を聞きながらも、「熱センサーと言ってもCMOSでピンポイントにわずかな熱量だからな・・・」と邪推するのが、職業病全開でいけませんね。

是非、興味を持たれた皆さんは東京ビックサイトへGO!です。
「医療機器には関係ないよ」という貴方も、液体計測の大きなパラダイムシフトを体験できるかもしれませんよ。

【EZ-Japan ここでもう一押し!】by Deco EZ-Japan


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04/17のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @yanabo: 無理をするな徹夜をするな、と夢中になろうよ寝食忘れるほど。仕事ってどっちも必要だから、経営する人、教える人は悩むのだ。糸井重里さんの仕事論。http://t.co/LMOwTDdgaf
04-17 13:11

RT @marikotkhs: 将棋「電王戦 FINAL」衝撃の結末 - 下條信輔|WEBRONZA - 朝日新聞社 http://t.co/xex2Mxr4Wf
04-17 13:11

RT @kikumaco: コンピューター対人間のゲームは将棋に限らず、結局は「バグ探し」になると思う。相手の弱点を見つけるというのはそういうことじゃないかな。そういう意味で今回の電王戦は正しいあり方を示したっぽい
04-17 13:09

真・MFC千夜一夜物語 第185話 MFCで使う用語のお話 その2

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年4月号で13回目を迎えさせて頂きました。
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げます。

さて、今回もMFC(マスフローコントローラ)で使う単位のお話です。

・流量単位
既に第182話 MFCで使う単位のお話 その1 や今までの連載で何度か説明していますが、重要な話ですので、今一度大きな声で注意喚起させて頂きます

「MFCで使用される流量単位には、ほんとに気をつけないといけません。」

マスフローでよく用いられる単位はSCCM(Standard Cubic Centimeters per Minute)NCCM(Normal Cubic Centimeters per Minute)ですね。
質量流量計であるはずのマスフローでkg/hのような単位が用いられるのは希です。
主に気体に用いる熱式マスフローの用途では、慣習上あくまで温度・圧力を定義した体積流量単位が用いられてきています。
もう一度整理のために、表を掲載します。
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体積流量単位であるmL/min=cc/minやL/minは温度・圧力を標準状態として定義する場合、圧力は大気圧1atm(1013hPa)を用いることで共通です。
でも、温度条件に関しては0℃、15℃、20℃、21.1℃(70F)、25℃と、国や業界によりまちまち・・・
更にStandard=Sの用い方には問題があり、SCCM/SLMという単位の温度条件が、ある業界では0℃、ところがある業界では20℃というダブルスタンダードが存在します。

例えば半導体業界向けマスフローではSは0℃に定義されています。
ところが、それ以外の一般産業分野向けでは20℃が多いのです。(日本国内の話です。)
この分野での0℃を定義するのはNormal。

日本以外では何種類かの温度条件でのSが確認されています。
このような数種の温度条件を持つSCCM,SLMは大変危険であり、誤って仕様を決めると約7~9%の流量誤差を発生させてしまうという警告をこのブログでDecogは何度かお伝えしています。
このような状況にもかかわらず今まで放置されているのは、SI単位のように公的に管理された単位系に属さないからです。
唯一の公的な文章はSEMI Standardsにある "SEMI E12-0303 : Guide for Standardized Pressure, Temperature, Density, and Flow Units Used in Mass Flow Meters and Mass Flow Controllers"です。
ここでは半導体分野で用いられる温度・圧力・密度のSに関して定義されており、半導体業界でのStandardは273.15K=0℃であると定義しています。
これを根拠にS=0℃という定義をする半導体産業寄りのマスフローメーカーもありますが、当然主要顧客が半導体ではないメーカーもあるので、このSEMIの指標をもって業界の統一単位という訳にはいかないのでした。
その結果、ユーザーの自衛策としては”SLM@20℃,1atm“という”頭痛で頭が痛いです“的な表現をする以外無いのが現状です。

呉々も「校正温度は何度ですか?」とメーカーや代理店の営業さんから質問されたときは、ちゃんと確認しましょう。
(たまに「何度でもいいです。」、という困った回答を頂きます・・・)

MFCのラベル、もしくは検査成績書を見てください。
もし手持ちのMFCの予備品を手配されるなら、シリアルナンバーを伝えて製造履歴を遡って貰い全く同一の仕様をオーダーするのも手です。
精度±1%を争う話の前に、最初から7~9%流量がずれてしまっていては話になりませんから、気をつけるのに越したことはありません。
泣くのは貴方なのですから・・・

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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04/15のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @hello_pantech: こんにちは(*´∀`)今日は変わりやすいお天気ですね…!体調を崩さぬよう、お過ごしください( ´^ω゜)b18日に行われるパンテック2周年祭の準備を着々と進めております!何が当たるかは、また後日御案内いたしますね♪お楽しみに☆ http…
04-15 14:11

04/14のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @hello_pantech: 本日も雨ですね󾀂今年の春は雨が多い気がします(´・ω・`)ですが!!そんな雨の日にパンテックにご来店頂くと、ポイントカードをお持ちのお客様には「雨の日ポイント」をお一つプレゼントいたします!!
04-14 12:11

RT @hello_pantech: 「レーズンボール」です♪実はレーズンボール、今日限りで暫くお休みさせて頂きます…(´;ω;`)本日限定5個なので是非!是非!!食べおさめに如何でしょうか(p`・ω・´q)! http://t.co/iiUUPJ4OZl
04-14 12:11

04/09のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @ichiyanakamura: 禅問答のようなQ&Aが徐々に堀江さんペースになり、なるほど〜と読まされました。「堀江貴文氏のゲームチェンジャー論「世界を変える人に共通点はない。ただダメなケースは決まってる」」http://t.co/gcf3tbgZz5
04-09 11:05

RT @hello_pantech: 本日のオススメは「明太フランス」です( ´^ω゜)b当店のミニバケットをハーフサイズにカットし、明太フィリングを隅々までたっぷりつけました(^ω^)磯の香りがして、とっても美味しいですよ!スタッフも自信を持っておすすめします☆ http:/…
04-09 10:55

04/08のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

なんと!四月に入って雪が降ってます!!@埼玉 http://t.co/4t62QRwAEX
04-08 08:39

真・MFC千夜一夜物語 第184話 MFCで使う用語のお話 その1

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年4月号で13回目を迎えさせて頂きました。
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げます。

さて、前回までMFC(マスフローコントローラ)で使われる単位のお話をしてきました。
最近、色々とお話しさせて頂いた中で「あっ、語句の意味が共有されてないかも!」と思うタイミングもありましたので、新年度4月ということもありますから、単位から発展してMFCで使われる基本的な用語に関して説明をしておこうかと思います。
一つのことを討議する上で、言葉の定義というのは大変重要です。
双方が違う定義で1つの言葉を用いていた場合、大きな間違いが後々生じる可能性がありますから、こういった部分は大事なのだなぁと思うようになりました。
かくいうDeco自身が、かいつまんだ知識の寄せ集めでしゃべっていた人なので余計にそう思ってます。

ガス種
MFCを選定する際に必ず必要な項目がガス種です。
熱式センサーの特性上、流量のスパン(傾き)は流体の物性(定圧比熱)に大きく左右されます。
MFCが質量流量計と名乗れる絶対条件は、流体を特定できていることです。
流体であるガスの表記が名無しの権兵衛=“UNKNOWN“ではいけません。

また、ガスの表記と言ってもシラン、モノシラン、SiH4、水素化ケイ素等、日本語でガス名を記載する場合複数の同意表記があります。
また、ジシラン、トリシランは語感が似ていても別物です。
あるガスのつもりで用いた表記が伝言ゲームの果てに違うガスに化けていたというお粗末な出来事はありがちです。
でも、MFCにとってはそれにより制御流量自体に差が生じる訳で、間違ったガス種で作られた、もしくはMGMR(マルチガスマルチレンジ)ガス変更されたMFCを用いて成膜やエッティングプロセスを行ったりしたら、それで大きな問題が生じる事になってしまうのです。

半導体製造装置向けの工業規格であるSEMI Standardで定めるガスコードがありますので、それを補助的共通語として用いることで、ある種のフェールセーフとはなります。
ところが、そもそものガス種仕様情報の発信元はユーザーなので、そこでコードを選択ミスする等の掛け間違えが生じたら、チェックをくぐり抜け、そのまま最終製品仕様に反映されてしまうリスクに直結であることを認識しなくてはいけません。
あまり認識されていなかった流体に関する事項として、「MFCの仕様書にある各スペックは、最近までほとんどのマスフローではキャリブレーションに用いたガス、多くは窒素(N2)を基準器に流す状況で定義されており、CFを用いてキャリブレーションをしたガス種に対して保証されている訳ではない」という点もあります。
最近の実ガス保証を謳うMGMRタイプMFCはこの限りではありませんが、この場合も実ガスとは、MFCメーカーが実ガスデータベースを構築した際に用いたガスのことであり、今貴方が使おうとしているガスと同じなのか?という問題は残ります。

・流量レンジ

ガス種と並ぶもう一つの重要な要素は、F.S.流量と略記されるフルスケール流量です。
ほとんどのMFCの定義として流量制御範囲2~100%というものが記載されています。
メーカーによってはここを分解能で表記して1:50と書くこともありますが、同じ意味です。
つまりF.S.100cc/minのMFCは、下限2cc/minまでの制御を保証しますという意味ですね。
MFCを選定する場合、この最少制御流量の50倍までがF.S.の選定限度と言うことになりますので、その使用する流量に合ったレンジをその範囲内で選定することになります。
しかし、いくら範囲内でも「常に100cc/min流したいから、F.S.100cc/minのマスフローを選定する」というのは、いささか無謀です。
下限ギリギリの流量も使用したいからやむなくとか、もしくは100mL以上は絶対必要ないという場合以外は、やはりレシピに対してある程度の余裕を見た選定をした方が良いでしょう。

よく「F.S.100cc/minのMFCは、それ以上流せないのですか?」という質問を頂きます。
ほとんどのMFCはF.S.以上のレンジも流量制御できてしまったり、流量信号を出力出来るようになっています。
ですが、その範囲はメーカーによりまちまちでデジタルMFCの場合、どこかでサチらせますから、そのポイントがF.S.105%までのメーカーもあれば、120%のメーカーもあります。
また、アナログのMFCですと、更に上まで出るものもありました。
でも、その領域は、メーカーでは一切保証がありませんので、仕様書で謳ったスペックを満たすか?満たさないか?どころか、器差もあります。
「前に購入したMFCでは出来たが、今度のでは出来なかった!」という問題が発生しても、それはメーカーのあずかり知らない所であることを理解して下さい。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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04/07のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @jpo_NIPPON: PCT国際出願関係手続Q&A http://t.co/kX5wJSdMEk
04-07 16:52

04/06のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

RT @hello_pantech: 当店人気のバタークロワッサンはそのままでは勿論ですが、少しアレンジするだけで違った美味しさが味わえるんです(・ω・)b例えば、たまごフィリングやハムを挟んだりするととっても美味しいんですよ(*´∀`)ノ! http://t.co/YYrm
04-06 07:22

04/03のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

取材活動の為、真・MFC千夜一夜物語 EZ-Japanブログは、今週の更新をお休みさせて頂いております。色んな実験機材も揃ってきそうですので、春からの新展開にご期待下さい。 http://t.co/MKuFNT1Pt3
04-03 10:37

04/01のツイートまとめ

Kuroda_EZJ

Try not. Do or do not.There is no try.出典:『スター・ウォーズ エピソードV/帝国の逆襲』
04-01 09:19

プロフィール

EZ-Japan(イージージャパン)代表 黒田 誠

Author:EZ-Japan(イージージャパン)代表 黒田 誠
MFC千夜一夜物語のDeco こと 黒田 誠 です。
2014年6月より流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”EZ-Japan(イージージャパン)として開業いたしました。

流体の流量・圧力・温度に関わる計測・制御技術の伝承と、新技術のご紹介を行うエバンジェリスト(伝道師)の仕事を生業といたしております。

日本工業出版さんの「計測技術」誌で”マスフロー千夜一夜物語”の連載を続けさせて頂いています。

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